載物臺(tái)和溫控系統(tǒng)

所有FormFactor探針臺(tái)集成專門開發(fā)的ATT常溫載物臺(tái)或高可靠性的高低溫載物臺(tái)。根據(jù)您的應(yīng)用、溫度和性能要求，我們提供溫度范圍從-60℃到300℃的多種溫控系統(tǒng)，也提供市場(chǎng)上功能最強(qiáng)大，性能最快，到極其經(jīng)濟(jì)的成本最低的溫控系統(tǒng)。

我們的載物臺(tái)表面鍍鎳或鍍金，保證卓越的電氣性能。MicroVacTM，FemtoGuardTM專利技術(shù)可提供先進(jìn)的測(cè)量精度和超低的接觸電阻，且適用于翹曲/薄片。

模塊化設(shè)計(jì)提供方便、經(jīng)濟(jì)高效的升級(jí)途徑，可提供最高的投資安全性和最簡(jiǎn)便的定制需求。

全熱范圍溫控系統(tǒng)（-60℃到300℃）

• 最強(qiáng)大，最快的高性能系統(tǒng)，可滿足苛刻的要求
• 市場(chǎng)上最短的溫度遷移時(shí)間
• 可選的ECO模式，可比市場(chǎng)上其他系統(tǒng)降低空氣消耗量（CDA）（365l / min）

經(jīng)濟(jì)型溫控系統(tǒng)（-40℃到300℃）

• 空氣消耗量（CDA）比市場(chǎng)上其他系統(tǒng)（300l / min）低25％
• 功耗模式：過(guò)渡時(shí)間比市場(chǎng)上其他系統(tǒng)快15％
• 最佳性價(jià)比、寬溫度范圍溫控系統(tǒng)

僅加熱型溫控系統(tǒng)（+20/+30℃到300℃）

• 模塊化和現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)到低溫（-40°C或-60°C）：隨您的需求而增長(zhǎng)
• 受控環(huán)境技術(shù)（+ 20°C）：精確的溫度控制，甚至低于環(huán)境溫度，也無(wú)需額外的冷卻器

除了我們技術(shù)領(lǐng)先的同軸和三軸載物臺(tái)溫控系統(tǒng)，我們的產(chǎn)品組合還補(bǔ)充了以下專用載物臺(tái)：

• 射頻/微波載物臺(tái)，最多配備三個(gè)輔助載物臺(tái)，用于放置校準(zhǔn)片和/或清潔片
• 可放置Taiko晶圓的大功率測(cè)試載物臺(tái)，具有防電弧方案和自動(dòng)對(duì)齊功能，可提供高效和高精度測(cè)量，同時(shí)提供經(jīng)過(guò)認(rèn)證的安全測(cè)試環(huán)境
• 雙面測(cè)試載物臺(tái)：獲得專利的雙面設(shè)計(jì)可以放置各種不同尺寸和設(shè)計(jì)的基板。主要用于發(fā)光器件，也可用于固定特殊的襯底，如固定在方形金屬載體上的MENS管芯