3d形貌輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。它所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

3d形貌輪廓儀可以同時有探針掃描和樣品臺掃描兩種模式。探針掃描利用電壓驅動探針在大范圍達到500x500微米的區(qū)域內(nèi)移動并且產(chǎn)生高分辨率的圖像。樣品臺掃描則是移動樣品臺來產(chǎn)生高分辨率的圖像。因為電壓驅動比XY軸運動更為精確所以探針掃描產(chǎn)生的圖像要遠遠好于樣品臺掃描得到的圖像。通過一個按鍵開關，可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺掃描模式。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

形貌儀主要應用領域：

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。