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MEAS加速度傳感器工作原理

廣州工控傳感科技有限公司 ? 2023-05-17 16:01 ? 次閱讀
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大家好,我是【廣州工控傳感★科技】加速度傳感器事業(yè)部,張工。

1、MEMS芯片的加速度傳感器工作原理:

MEAS 3028-002-P,4500-010,

?url=http%3A%2F%2Fdingyue.ws.126.net%2F2022%2F0613%2F7b75273dj00rdenz5001yd000fp0047p.jpg&thumbnail=660x2147483647&quality=80&type=jpg


在MEMS硅芯片上加一個(gè)質(zhì)量塊

在受到均勻加速度時(shí)(例如,重力加速度),質(zhì)量塊對(duì)MEMS芯片施加一個(gè)恒定的力,產(chǎn)生靜態(tài)信號(hào)

在受到變加速度時(shí)(例如,振動(dòng)),質(zhì)量塊對(duì)

MEMS芯片施加變力,產(chǎn)生動(dòng)態(tài)信號(hào)

信號(hào)的振幅代表加速度的大小

大部分加速度傳感器都以g為單位

1 g = 海平面的重力加速度

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2、振動(dòng)/加速度傳感器工作原理:

7132A-0100,7100A-0100,64C-2000

?url=http%3A%2F%2Fdingyue.ws.126.net%2F2022%2F0613%2F6dbca428j00rdenzn001dd000gt004pp.jpg&thumbnail=660x2147483647&quality=80&type=jpg


當(dāng)受到應(yīng)力或形變時(shí),壓電材料產(chǎn)生電壓輸出

壓電材料與導(dǎo)電支撐基座連接

在壓電材料的上面有一個(gè)電極,電極上面是個(gè)質(zhì)量塊

當(dāng)受到的是均勻加速度(例如:重力加速度),輸出為零

壓電式加速度傳感器只響應(yīng)動(dòng)態(tài)加速度或振動(dòng)

?url=http%3A%2F%2Fdingyue.ws.126.net%2F2022%2F0613%2Feab88e86j00rdenzx004pd000g800bop.jpg&thumbnail=660x2147483647&quality=80&type=jpg


三、靜態(tài)加速度傳感器:

?url=http%3A%2F%2Fdingyue.ws.126.net%2F2022%2F0613%2F29911b31j00rdeo06004ed000dx00dpp.jpg&thumbnail=660x2147483647&quality=80&type=jpg


封裝

粘結(jié)或支架安裝 表面貼裝 陶瓷外殼封裝

性能

量程(± g): 2 -- 6000 g 頻率(Hz): 0-150 -- 0-7000 毫伏(mV) 輸出

最大沖擊:(± g): 10,000 g 工作溫度范圍(°C): -40 -- +125 非線性(%FSO): ±1.0

激勵(lì)電壓(Vdc): 2 -- 10 輸出: 0.10 -- 40mV/g (現(xiàn)行比例輸出)

應(yīng)用

地震監(jiān)測(cè)傳感器 傾角傳感器 設(shè)備健康狀態(tài)監(jiān)測(cè) 主動(dòng)阻尼

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