微納加工技術是先進制造的前沿技術，但是受到基礎裝備、工藝技術、行業(yè)基礎等多方面影響，中國的超精密加工技術與應用與世界先進水平之間仍有巨大差距。為解決微型零件加工需求，速科德創(chuàng)新研發(fā)了超高精密設備KASITE-SKD系列微納加工中心，加工余量范圍20nm-100μm。

超精密數(shù)控加工/超精密加工——傳統(tǒng)加工中的“高精度”是指個位數(shù)微米級的公差。KASITE-SKD系列微納加工中心采用了高精度高響應直線電機、光柵反饋（10nm/20 nm /50 nm /100 nm）、高轉速高精度（≤1μm）高速電主軸和高倍率遠心鏡頭，實現(xiàn)公差達到“亞微米”級的精度。

超精密加工是一種高度自動化過程，旨在對高度復雜的零件進行極其精確的成形。KASITE-SKD系列微納加工中心自帶CNC功能的運動控制卡編程運算各指令，并且自定義運動軌跡控制，編輯不同形狀，自動完成零件加工需求。

此外，KASITE-SKD系列微納加工中心采用了先進的上下相機視覺定位系統(tǒng)：

上相機標定刀具中心和相機中心誤差，在線檢測工件尺寸確定余量后進行微納加工。

下相機具有對刀功能（靜態(tài)刀具XYZ值的對刀）和刀具動態(tài)的刀擺補償。

將超精密自動化加工與先進的視覺系統(tǒng)相結合，以實現(xiàn)高精度：

• 實現(xiàn)納米量級材料去除的加工技術
• 實現(xiàn)特征尺寸從幾微米到幾百微米三維結構的加工
• 實現(xiàn)超高孔深系數(shù)的鉆孔加工技術

行業(yè)應用

KASITE-SKD系列微納加工中心廣泛應用于航空航天、光學、生物醫(yī)學、半導體、通用機械加工、模具制造等領域鉆、銑、磨高精密加工。

加工案例

文章來源：速科德電機科技