芯片上更多器件和更快時鐘速度的不斷發(fā)展，推動了幾何形狀縮小、新材料和新技術的發(fā)展。由于更脆弱、功率密度更高、器件更復雜和新的失效機制，這些因素都對單個器件的壽命和可靠性產生了巨大的影響，可能僅有10年的壽命，即使是很小的壽命變化，對設備來說也可能是災難性的，所以器件的壽命和可靠性尤為重要。

在現代超大規(guī)模集成電路中，熱載流子效應退化是一個相當重要的可靠性問題，熱載流子效應測試是半導體工業(yè)中非常重要的一個環(huán)節(jié)，用于評估半導體器件在實際應用中的可靠性，并推算器件使用壽命，從而提高產品的品質和穩(wěn)定性。

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本期直播預告

本期云上大講堂，泰克高級應用工程師 劉建章將著重為大家介紹：

■熱載流子形成和分類

■熱載流子效應的機理

■熱載流子效應對半導體器件的影響

■熱載流子效應可靠性測試方案

■器件熱載流子效應的壽命估算

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