近日，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的“半導體設備及其磁控管組件”專利正式公布，申請日期為2024年5月7日，編號為CN117995642A。

該發(fā)明涉及半導體工藝技術領域，提出的磁控管組件包括至少兩個滑槽，滑槽兩端分別位于兩個不同直徑的圓周上，并與轉盤徑向呈一定夾角。每個滑槽內置有一個或者多個磁控管或配重，在滑槽中隨轉盤旋轉而自由移動。同時，專利還介紹了限位件通過轉軸與轉盤相連，并有多個限位槽與滑槽相對應，以固定相應的磁控管或配重。

此項技術方案能夠實現磁控管在靶材邊緣及內側兩個位置間的切換和旋轉，具有結構簡單、運動軌跡清晰、易于操控、使用壽命長以及可靠性高的優(yōu)勢。