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芯東西7月4日報道，近日，上交所官網(wǎng)披露終止半導(dǎo)體裝備企業(yè)北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱“華卓精科”）的發(fā)行上市審核，原因是華卓精科及其保薦人撤回發(fā)行上市申請。

頂著沖刺“光刻機第一股”的光環(huán)，華卓精科闖關(guān)科創(chuàng)板之路一度備受關(guān)注，其IPO擬募資7.35億元，用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)、超精密測控產(chǎn)品研發(fā)中心等項目。

華卓精科在2020年6月24日申請科創(chuàng)板IPO，2021年7月29日首次上會遇暫緩審議，同年9月17日上會通過，但此后遲遲不見提交注冊稿，直至今年6月26日終止IPO。

不止是華卓精科，今年迄今已有超過十家半導(dǎo)體企業(yè)終止科創(chuàng)板IPO，這份長長的名單還包括大連科利德半導(dǎo)體材料股份有限公司、得一微電子股份有限公司、合肥芯谷微電子股份有限公司、寧波奧拉半導(dǎo)體股份有限公司、杭州華瀾微電子股份有限公司、上海芯旺微電子技術(shù)股份有限公司、蘇州明皜傳感科技股份有限公司、華羿微電子股份有限公司、青島信芯微電子科技股份有限公司、山東華光光電子股份有限公司、北京晶亦精微科技股份有限公司等。

華卓精科成立于2012年5月，法定代表人是孫國華，任華卓精科總經(jīng)理；實際控制人和控股股東是清華大學(xué)長聘教授朱煜，任華卓精科首席科學(xué)家。其核心產(chǎn)品為納米精度運動及測控系統(tǒng)，該系統(tǒng)是光刻機的核心子系統(tǒng)之一，其性能對晶圓進(jìn)行光刻時起到?jīng)Q定性影響，能極大提高光刻機的精度和生產(chǎn)效率。

在申報稿中，華卓精科稱自己是“國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)納米精度運動及測控系統(tǒng)商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)”、“是國產(chǎn)高端光刻機龍頭企業(yè)納米精度運動及測控系統(tǒng)產(chǎn)品及技術(shù)開發(fā)的供應(yīng)商”。

2012年4月，在清華大學(xué)支持下，北京清華工業(yè)開發(fā)研究院與IC裝備研究室核心團(tuán)隊共同協(xié)商決定設(shè)立華卓有限。

在2023年1月提交多個回復(fù)文件之后，華卓精科再無新問詢與回復(fù)文件披露。熬了四年的科創(chuàng)板IPO路，最終鎩羽而歸。

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審核編輯 黃宇