三次元檢測(cè)設(shè)備又稱三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,簡(jiǎn)稱三坐標(biāo)CMM，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)按其工作方式可分為點(diǎn)位測(cè)量方式和連續(xù)掃描測(cè)量方式。點(diǎn)位測(cè)量方式是由測(cè)量機(jī)采集零件表面上一系列有意義的空間點(diǎn)，通過數(shù)學(xué)處理，求出這些點(diǎn)所組成的特定幾何元素的形狀和位置。連續(xù)掃描測(cè)量方式是對(duì)曲線、曲面輪廓進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，多為大、中型測(cè)量機(jī)。

根據(jù)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的結(jié)構(gòu)形式及三個(gè)方向測(cè)量軸的相互配置位置的不同，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可分為懸臂式、橋式、龍門式、立柱式、坐標(biāo)鏜床式。它們各有特點(diǎn)及相應(yīng)的適用范圍如下：
1．懸臂式的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊、數(shù)控機(jī)床廠工作面開闊、裝卸工件方便、便于測(cè)量，但懸臂易于變形，且變形量隨測(cè)量軸丁軸的位置變化，因此丁軸測(cè)量范圍受限。
2．橋式測(cè)量機(jī)結(jié)構(gòu)剛性好，x、y、z方向的行程大，一般為大型機(jī)。
3．龍門式的特點(diǎn)是龍門架剛度大，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，精度較高。由于龍門或工作臺(tái)可以移動(dòng)，使裝卸工件方便，但考慮龍門移動(dòng)或工作臺(tái)移動(dòng)的慣性，龍門式測(cè)量機(jī)一般為小型機(jī)。
4．立柱式適合于大型工件的測(cè)量。
5．坐標(biāo)鏜床式的結(jié)構(gòu)與鏜床基本相同，結(jié)構(gòu)剛性好，測(cè)量精度高，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，適用于小型工件。

三次元檢測(cè)設(shè)備三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x按測(cè)量范圍可分為大型、中型和小型。按其精度可分兩類：

①精密型，一般放在有恒溫條件的計(jì)量室，用于精密測(cè)量，分辨率一般為0.5~21lm；

②生產(chǎn)型，數(shù)控機(jī)床廠一般放在生產(chǎn)車間，用于生產(chǎn)過程檢測(cè)，并可進(jìn)行末道工序的精加工。