在剛剛結(jié)束的2024 第九屆 “創(chuàng)客中國” 中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中，青島芯笙微納電子科技有限公司（以下簡稱：青島芯笙公司）做為青島唯一、山東唯二的企業(yè)，從全國3.5萬個大賽參賽入庫項目、5009個專精特新企業(yè)、785個專精特新“小巨人”企業(yè)中脫穎而出，入圍前50強，并榮獲三等獎。

一、創(chuàng)客中國，榮耀綻放

“創(chuàng)客中國”中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽是工業(yè)和信息化部與財政部聯(lián)合主辦的大賽。旨在圍繞產(chǎn)業(yè)鏈，部署創(chuàng)新鏈，配置資金鏈，已成為全國具有廣泛影響力的大型賽事之一。歷年來，諸多優(yōu)秀企業(yè)和創(chuàng)新團(tuán)隊通過“創(chuàng)客中國”創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽展現(xiàn)實力，從而得到了能力提升、社會認(rèn)可和政策支持，實現(xiàn)了快速的成長和發(fā)展。

在第九屆 “創(chuàng)客中國” 中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中，青島芯笙公司在青島市決賽中獲得一等獎，在全國總決賽中斬獲三等獎。其參賽項目“半導(dǎo)體核心零部件：氣體流量測控技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”，以自主開發(fā)為基礎(chǔ)，研制高端氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品，滿足半導(dǎo)體制造過程對高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性以及快速響應(yīng)的嚴(yán)格要求，保證半導(dǎo)體工藝過程準(zhǔn)確性和產(chǎn)品一致性。該產(chǎn)品為國內(nèi)首款基于全國產(chǎn)品技術(shù)的高端MFC，其國產(chǎn)化對于打破半導(dǎo)體裝備核心零部件的關(guān)鍵技術(shù)壁壘，對促進(jìn)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重大意義。

此次獲獎，充分展示了青島芯笙公司卓越的研發(fā)實力和創(chuàng)新能力，也彰顯了基于自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn) MFC在行業(yè)的引領(lǐng)地位和產(chǎn)業(yè)的認(rèn)可。

二、筑牢根基，持續(xù)創(chuàng)新

青島芯笙公司，孵化自山東大學(xué)，是一家致力于高端氣體流量測控技術(shù)的國家高新科技企業(yè)，目標(biāo)成為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體零部件供應(yīng)商。其核心團(tuán)隊來自新加坡科技局、德國 KIT理工學(xué)院、中國科學(xué)院、清華大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、山東大學(xué)等國內(nèi)外重點科研機(jī)構(gòu)，掌握核心流量傳感芯片、模組、算法、系統(tǒng)集成等全鏈條自主核心技術(shù)。

自2020年成立以來，青島芯笙公司針對半導(dǎo)體、實驗室、泛半導(dǎo)體、分析儀行業(yè)分別推出極具性價比的S700、S500、S300、UT等系列產(chǎn)品，解決國家在關(guān)鍵零部件領(lǐng)域卡脖子技術(shù)問題，在諸多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)化替代。經(jīng)過多年發(fā)展，公司已形成完備的研發(fā)和制造能力，同時建研發(fā)車間 800 平米，制造車間 4000 平米，以及 100 余臺流量校準(zhǔn)設(shè)備，累計投入超過8000萬元。公司具有 ISO9001、ISO14001 等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證，能夠確保產(chǎn)品的品質(zhì)和制造的規(guī)范化。

目前，青島芯笙公司自主申請專利 30余項，國家一級計量證書 50 余項。在國家技術(shù)攻關(guān)領(lǐng)域，公司承擔(dān)了科技部重點研發(fā)計劃 項目3項、山東省重大科技創(chuàng)新工程項目1 項、青島市關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)項目1項。此外，公司建有 “青島芯笙 - 山東大學(xué)傳感器測控聯(lián)合實驗室”、“青島市氣體流量測控技術(shù)重點實驗室”、“專家工作站” 等多個研發(fā)平臺。這些成果和平臺為公司的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力保障。

三、全新產(chǎn)品，對標(biāo)國際一流

近日，青島芯笙公司在氣體質(zhì)量流量控制器方面取得重大突破，攻克了長期以來阻礙國產(chǎn)半導(dǎo)體級MFC發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)壁壘，成功開發(fā)出基于高速壓電比例閥的半導(dǎo)體級 MFC 產(chǎn)品。這一突破對于我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展至關(guān)重要，目前國內(nèi)主流的MFC產(chǎn)品采用傳統(tǒng)的電磁比例閥技術(shù)，性能參數(shù)差，產(chǎn)品力不足，無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度、高可靠性、快速響應(yīng)的需求。而日本Horiba、美國MKS、荷蘭Bronkhorst等業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)已然推出基于壓電比例閥的半導(dǎo)體級MFC產(chǎn)品。相較而言，壓電比例閥響應(yīng)快，控制精度高，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體流量的快速調(diào)整，滿足半導(dǎo)體制造過程對快速響應(yīng)的要求。同時，壓電比例閥功耗和熱噪聲低，減少了能源消耗和對環(huán)境的影響。

為滿足不同應(yīng)用需求，青島芯笙公司為新產(chǎn)品匹配了兩種版本：DF500和S700。其中，DF500采用層流差壓技術(shù)方案，在控制范圍和小流量精度更有優(yōu)勢；S700采用毛細(xì)管熱式技術(shù)方案，具有更寬的量程選擇和工作溫度。兩種版本均采用了國際領(lǐng)先的高速壓電比例閥和SEMI標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)，并配備了壓力不敏感（PI）技術(shù)和公司最新研發(fā)的自適應(yīng)動態(tài)控制算法，可在全量程流量范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度快速控制，完美適配 7nm、14nm 及以上工藝節(jié)點的 Etch、ALD、CVD 等半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

四、任重道遠(yuǎn)，揚帆破浪

在半導(dǎo)體級MFC這個賽道上，我國研究起步較晚，技術(shù)和產(chǎn)品受制于西方國家，嚴(yán)重威脅著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的鏈條完整性和安全性。目前，青島芯笙公司在避開國外專利的情況下，實現(xiàn)技術(shù)突破，已經(jīng)完成了從0到1的難題，接下來是如何更好地實現(xiàn)從1到100的躍升。

“創(chuàng)客中國” 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽的殊榮是對青島芯笙公司前期成果的肯定，也象征著國內(nèi)技術(shù)水平的提升。然而，“任重道遠(yuǎn)須策馬，風(fēng)正潮平好揚帆”，未來，青島芯笙公司將繼續(xù)發(fā)揮自身優(yōu)勢，提高自身在全球高科技領(lǐng)域中的競爭力，為中國半導(dǎo)體行業(yè)的健康發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。

審核編輯 黃宇