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光刻機用納米位移系統(tǒng)設(shè)計

jf_67773122 ? 來源:jf_67773122 ? 作者:jf_67773122 ? 2025-02-06 09:38 ? 次閱讀
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光刻機是當(dāng)今世界上最精密的儀器,我們使用的電子產(chǎn)品的芯片都是用光刻機刻出來的,怎樣讓光刻機在納米精度內(nèi)作長距離移動,一直是困擾科學(xué)家的難題,今天我把我設(shè)計的光刻機用納米位移系統(tǒng)分享給大家,希望能給需要的朋友一些幫助。納米位移系統(tǒng)如下面介紹:納米位移系統(tǒng)由壓電晶體Y、電磁鐵H1、軟磁吸盤H2、絲桿S、螺母SM組成如圖所示:

wKgZPGekERiAJCnMAACY4OP7ICY053.png光刻機用納米位移系統(tǒng)設(shè)計

下面介紹一下工作原理:電磁鐵H1與軟磁吸盤H2隔空排列,先給電磁鐵H1通電,這樣電磁鐵H1就會吸引軟磁吸盤,當(dāng)給壓電晶體Y施加電壓后,壓電晶體Y會產(chǎn)生微小形變,形變尺寸在納米范圍內(nèi),壓電晶體Y的形變由連桿傳到電磁鐵H1上,電磁鐵H1會繞軸作納米長度的旋轉(zhuǎn),由于電磁鐵H1通電后與軟磁吸盤H2是吸引的,電磁鐵H1的轉(zhuǎn)動會帶動軟磁吸盤H2旋轉(zhuǎn),吸盤H2又與絲桿相連,這樣絲桿也進(jìn)行旋轉(zhuǎn),由于螺母是固定的,不能旋轉(zhuǎn),絲桿的旋轉(zhuǎn)會讓螺母產(chǎn)生位移。然后給電磁鐵H1斷電,壓電晶體Y也斷電,電磁鐵H1與壓電晶體Y就會恢復(fù)原位,軟磁吸盤H2與電磁鐵H1是隔空的,給電磁鐵H1斷電后,電磁鐵H1對軟磁吸盤H2失去吸引力,軟磁吸盤H2就會保持旋轉(zhuǎn)后的狀態(tài)。就這樣反復(fù)給電磁鐵H1與壓電晶體Y通電、斷電,螺母就會持續(xù)在納米長度內(nèi)位移,多次位移就能讓螺母在較長的絲桿上作長距離運動。 好了,就介紹到這里吧!


審核編輯 黃宇

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