電子發(fā)燒友網報道（文 / 吳子鵬）
在半導體制造領域，AMHS（自動物料搬運系統(tǒng)）堪稱保障生產效率、良率和工廠穩(wěn)定性的核心基礎設施。半導體制造工序繁雜，涵蓋光刻、蝕刻、沉積等數百道工序，晶圓在生產過程中需頻繁移動。AMHS 系統(tǒng)憑借任務分配系統(tǒng)及調度系統(tǒng)，對 OHT（Overhead Hoist Transport，高空自動運輸系統(tǒng)）的任務和路徑進行合理規(guī)劃和調度，確保晶圓在不同工序間高效流轉。這也意味著，對于追求高稼動率的晶圓廠而言，AMHS 一旦出現故障，極有可能導致全線停產。

正如彌費科技 CEO 繆峰所言，盡管 AMHS 在整個半導體前道設備市場中的價值占比僅約 3%，但其與晶圓廠的效率、可靠性卻有著近乎 100% 的緊密關聯。作為國內 AMHS 領域的先行者，為進一步提升 AMHS 系統(tǒng)在半導體工廠復雜物流場景下的運行效率，彌費科技此前重磅推出 AMHS 智能傳輸新一代解決方案 —— 天帆 SS5000 系列 OHT 天車系統(tǒng)。
在彌費科技上海臨港總部舉辦的媒體開放日活動中，彌費科技創(chuàng)始人兼 CEO 繆峰、聯合創(chuàng)始人兼CSO 柯娜以及董秘李靜雅等公司高層，向參會媒體詳細介紹了這套新系統(tǒng)，并闡述了彌費科技后續(xù)的發(fā)展規(guī)劃。
彌費科技CEO繆峰（左），彌費科技聯合創(chuàng)始人兼CSO柯娜（右）

算力、算法和數據三維升級的天帆 SS5000

作為 AMHS 系統(tǒng)中的核心傳輸系統(tǒng)，OHT 天車系統(tǒng)專注于高空懸掛式自動化物料運輸，通過高架軌道在各制程設備、存儲柜（Stocker）之間高速運輸晶圓或掩膜，從而保障生產流程的高效銜接。
OHT 天車系統(tǒng)擁有眾多關鍵特征指標，包括速度、加速度、重復定位精度、振動、負載、載具兼容性、潔凈等級與顆?？刂坪涂煽啃缘戎笜?。其中，諸多指標與 OHT 系統(tǒng)效率的提升密切相關。例如如何在高速運行狀態(tài)下實現振動抑制與精度保持，怎樣完成復雜場景下的路徑優(yōu)化，以及如何實現多設備協同的高效對接等。
繆峰指出，為使天帆 SS5000 系統(tǒng)具備行業(yè)領先的效率與可靠性，彌費科技著重對算力、算法和數據這三大關鍵維度進行優(yōu)化，實現 OHT 全棧技術的自研突破，并在整個系統(tǒng)層面完成了十大產品力升級。
在基礎設施層面，彌費科技自主研發(fā)的 AMHS 專用高算力控制平臺，該平臺采用全冗余架構，搭配低延遲通訊網絡和邊緣計算平臺，為系統(tǒng)的高效平穩(wěn)運轉提供有力支撐，系統(tǒng)可靠性高達 99.999%。這意味著天帆 SS5000 系統(tǒng)在運行過程中幾乎不會出現停機故障，為晶圓廠的連續(xù)生產提供了堅實可靠的保障。
在算法層面，彌費科技運用時空預測模型和系統(tǒng)均衡架構，實現分布式部署和集群化管理。憑借公司自研的高速振動抑制算法和運動控制算法，OHT 直行速度提升至業(yè)界最高的 5.5m/s，振動不超過0.35G；多段速度和加速度平滑控制算法的應用，使取放貨速度達到業(yè)界領先水平
在交互層面，天帆 SS5000 系統(tǒng)采用全新通信架構，并統(tǒng)一地圖和交互數據，并通過彌費科技創(chuàng)新的時空融合預測算法配合智能岔道管控模塊，結合基于統(tǒng)一地圖的全廠 OHT 實時位置和運動狀態(tài)通訊，有效避免擁堵和過長取貨距離，直行過岔路效率提升 40%，將平均搬運時間 ADT 控制在 130s 以下。
在系統(tǒng)層面，天帆 SS5000 系統(tǒng)引入彌費自研的新一代物料管控系統(tǒng) (MCS)，可實現與多品牌 業(yè)務系統(tǒng) 的無縫對接，適配 100 + 設備集成，圖形化界面支持靈活定制；智能車隊調度系統(tǒng)（MSTC）支持千臺級 OHT 超大集群管理，結合 AI 強化學習優(yōu)化任務分配與路徑規(guī)劃，并借助實時計算和高速通訊，確保大規(guī)模集群也能實現高效、可靠運行。并在智能化天眼系統(tǒng)/全場景異常處理機制/創(chuàng)新功能矩陣/人機交互升級/仿真驗證平臺等多個領域實現創(chuàng)新突破。
在軟件部分提升的同時，彌費科技還對車體硬件進行改進，在天帆 SS5000 系統(tǒng)中搭載更智能、更安全、和更扁平輕巧的新車體。智能方面，新車體搭載八核 CPU+6TOPS NPU 控制器，自研嵌入式控制平臺國產化率達100%；安全方面，每臺 OHT 車體配備 18 個安全傳感器，并通過專利減震機構保障晶圓的平穩(wěn)運輸；在扁平輕巧方面，新車體厚度達到業(yè)界最薄的 895mm，較上一代減重 8kg。同時，在速度/穩(wěn)定性/可靠性/耐久度等核心指標均實現突破，完成核心技術指標對齊國際領先企業(yè)，并在部分關鍵效能指標實現領先。

從破局者到引領者的姿態(tài)轉變

AMHS 雖然在半導體設備市場中的價值占比不高，但其影響力卻不容小覷。
長期以來，AMHS 市場主要由村田、大福兩家公司占據主導地位。與國內同行一樣，彌費科技曾長期以追趕者和破局者的姿態(tài)深耕這一領域。然而，隨著天帆 SS5000 系統(tǒng)的發(fā)布，彌費科技迎來全新局面。據介紹，彌費科技 AMHS 產品已進入全球 30 家以上晶圓代工廠及 IDM 企業(yè)，并且是目前國內唯一完成8寸及12寸晶圓廠驗證，且晶圓廠整廠交付數量最多的國產AMHS系統(tǒng)方案公司。
此次，隨著彌費科技新一代 OHT天車產品交付及應用，其在核心技術指標領域的趕超與突破標志著其在技術領域已完成在全球產業(yè)競爭格局中破局者到引領者的轉變。而在技術上持續(xù)創(chuàng)新突破的同時，彌費科技也不斷加強國內外市場滲透與布局。
在產品可靠性方面，除了持續(xù)增加的全廠驗證交付系統(tǒng)所積累的實時運營數據，彌費科技還打造了 2000㎡國內最大的 AMHS 全廠集成驗證 Demoline。在該驗證平臺中，彌費科技部署了 30+OHT 集群、高低軌 1000m + 軌道以及 50 + 成套設備對接，實現高密度全工藝運營。同時，仿真驗證平臺 DeepSim 中運行的OHT 車體運行狀態(tài)，也與最終部署后的實際運行狀態(tài)一致。
在標準制定方面，彌費科技第五代天車產品已通過 SEMI、CE 等 19 項國際認證，多項核心參數達到國際領先水平。同時，公司積極參與最新標準制定，牽頭制定了 AMHS 領域首個標準《集成電路晶圓廠用天車傳送系統(tǒng)通用技術要求》（T/SICA006—2024），在技術合規(guī)性與生態(tài)話語權上成功突破國際壁壘。
關于生態(tài)布局，繆峰表示，彌費科技將依托上海臨港與馬來西亞雙制造基地和全球供應鏈布局，構建從核心零部件到整廠系統(tǒng)的全鏈條國產化及本地化交付能力，在交付效率和服務水平上形成對日系廠商的差異化競爭優(yōu)勢。