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CMOS集成電路中閂鎖效應的產生與防護

中科院半導體所 ? 來源:Jeff的芯片世界 ? 2025-10-21 17:30 ? 次閱讀
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文章來源:Jeff的芯片世界

原文作者:Jeff的芯片世界

本文介紹了CMOS中的閂鎖效應與解決措施。

什么是閂鎖效應

閂鎖效應(Latch-up)是CMOS集成電路中一種危險的寄生效應,可能導致芯片瞬間失效甚至永久燒毀。它的本質是由芯片內部的寄生PNP和NPN雙極型晶體管(BJT)相互作用,形成類似可控硅(SCR)的結構,在特定條件下觸發(fā)低阻抗通路,使電源(VDD)和地(GND)之間短路,引發(fā)大電流失控。

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這種現(xiàn)象在早期CMOS工藝中尤為突出,但隨著制程優(yōu)化(如阱隔離、保護環(huán)設計等),現(xiàn)代芯片的閂鎖風險已大幅降低。然而,在高壓、高速或惡劣環(huán)境(如高溫、ESD沖擊)下,閂鎖仍可能被意外觸發(fā),成為半導體可靠性設計的重要挑戰(zhàn)。

閂鎖效應的產生與防護

閂鎖的核心機制源于CMOS結構中的寄生四層PNPN結構。NMOS的源/漏區(qū)(N+)與P型襯底形成NPN晶體管,PMOS的源/漏區(qū)(P+)與N阱形成PNP晶體管,而襯底電阻Rsub)和阱電阻(Rwell)則提供了正反饋路徑。當外部干擾(如電壓瞬變、ESD靜電)使其中一個寄生BJT導通,另一個BJT的基極電流會被放大,形成正反饋循環(huán),最終導致SCR“鎖定”在導通狀態(tài)。此時,即使觸發(fā)信號消失,大電流仍會持續(xù),直至芯片過熱損壞。

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為應對這一問題,半導體行業(yè)采取了多種防護措施。在工藝層面,通過增加阱和襯底接觸、使用保護環(huán)(Guard Ring)以及逆向摻雜阱來降低寄生電阻并阻斷載流子擴散。在電路設計層面,電源去耦電容、ESD防護器件(如TVS二極管)以及優(yōu)化的版圖布局(如確保NMOS靠近GND、PMOS靠近VDD)都能有效抑制閂鎖效應。

閂鎖效應的實際影響與行業(yè)應對

閂鎖效應可能導致芯片突然失效,表現(xiàn)為電流激增、功能紊亂甚至永久損壞。在高溫或高壓環(huán)境下,這種風險尤為顯著。為評估芯片的抗閂鎖能力,行業(yè)采用JEDEC78測試和ESD模擬等標準方法,通過施加脈沖電流或電壓來測量觸發(fā)閾值和維持電流,確保芯片在極端條件下的可靠性。

閂鎖效應是CMOS工藝的固有挑戰(zhàn),但通過工藝改進、電路優(yōu)化和嚴格測試,其風險已大幅降低。

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