電容傳感器是指將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。實際上，它本身（或和被測物體）就是一個可變電容器。

電容傳感器可以直接測量的非電量為：直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸（或稱物位），直線位移及角位移可以是靜態(tài)的，也可以是動態(tài)的，例如是直線振動及角振動。用于上述三類非電參數(shù)變換測量的變換器一般說來原理比較簡單，無需再作任何預變換。

用來測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器，往往采用單極式變間隙電容傳感器，使用時常將被測物作為傳感器的一個極板，而另一個電極板在傳感器內(nèi)。

近年來已采用這種方法測量油膜等物質(zhì)的厚度。這類傳感器的動態(tài)范圍均比較小，約為十分之幾毫米左右，而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達到0.1μm，分辨力為0.025μm。可以實現(xiàn)非接觸測量，它加給被測對象的力極小，可忽略不計。

電容傳感器結(jié)構(gòu)內(nèi)具有四個基本元件，即傳感器板、振蕩器、觸發(fā)電路和輸出端。目標物體和傳感器板構(gòu)成了振蕩器反饋電路。當物體和傳感器板靠近時，反饋電容出現(xiàn)；當大電容出現(xiàn)時，就會開始振蕩。觸發(fā)電路感應振蕩水平并得以控制，從而改變輸出端開關裝置的狀態(tài)。物體越遠離傳感器尖端時振蕩幅度降低，而靠近時幅度增加。其在本質(zhì)上為電容傳感器的工作原理。