中圖儀器白光干涉儀有什么特點

白光干涉儀

型號： SuperViewW1

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

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--- 產(chǎn)品詳情 ---

制造企業(yè)逐步走在智能制造的路上，對產(chǎn)品質量的要求也逐步在提高。從IQC到FQC，OQC，產(chǎn)品的外觀尺寸缺陷等品質檢測也越發(fā)重要。這就不得不說白光干涉測量技術，將其應用到3D表面輪廓儀中，可進行納米級的測量。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米的工件粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

SuperViewW1白光干涉儀特點

1、復合型掃描算法

結合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點的復合型掃描重建算法，能夠適配從超

光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品；

2、雙重防撞保護

1）軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲；

2）Z向防撞傳感器，當鏡頭碰到樣件表面，鏡頭即回縮，進入緊急停止狀態(tài)，不再下移；

3、地面振動&聲波振動隔振防護

氣浮隔振設計&吸音材質隔離設計，確保儀器在嘈雜的車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾，正常工作；

4、環(huán)境噪聲評價

提供環(huán)境噪聲評價模塊，能夠定量檢測出當前環(huán)境噪聲對儀器的干擾，對儀器的調試和使用提供數(shù)據(jù)依據(jù)；

5、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的光學3d輪廓儀檢測儀對產(chǎn)品進行高品質監(jiān)控時不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn)，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數(shù)據(jù)的同時，不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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