中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差）。其掃描模塊和內部抗振設計，可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，具有測量精度高、分析功能強大、使用方便、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。
SuperViewW1系列白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
在大多數(shù)的場景中，只需檢測一個數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，借助中圖儀器SuperView W1白光干涉儀的自動拼接功能，就能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。
