3d干涉光學(xué)輪廓儀

測量儀器光學(xué)測量

型號： SuperViewW1

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

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--- 產(chǎn)品詳情 ---

SuperViewW13d干涉光學(xué)輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復(fù)性。測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，實現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

SuperViewW13d干涉光學(xué)輪廓儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。而其雙重防撞保護措施能更好的保護儀器，確保精度的準確。

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護。

SuperViewW13d干涉光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

應(yīng)用

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