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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>MEMS慣性感測器與陀螺儀感測器的原理、檢測及應(yīng)用介紹

      MEMS慣性感測器與陀螺儀感測器的原理、檢測及應(yīng)用介紹

      2017-10-21 | rar | 0.1 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）將機(jī)械和電子元件整合在微米級小型結(jié)構(gòu)中。運(yùn)用半導(dǎo)體與微製程技術(shù)，透過微機(jī)械加工將所有電子元件、感測器和機(jī)械元件整合至一片硅基板。MEMS系統(tǒng)的主要元件是機(jī)械單元、感測機(jī)制以及特定應(yīng)用積體電路（ASIC）或微控制器。本文簡要介紹MEMS加速度計(jì)感測器和陀螺儀，并探討其工作塬理、感測機(jī)制以及目前市場上多樣化的應(yīng)用，以及對我們?nèi)粘Ｉ钌钸h(yuǎn)的影響。

      　　MEMS慣性感測器

      　　MEMS感測器在許多應(yīng)用裝置中沿一個或多個軸向測量線性加速度，或者環(huán)繞一個或多個軸的角速度作為輸入以控制系統(tǒng)（如圖1）。

      　　MEMS慣性感測器與陀螺儀感測器的原理、檢測及應(yīng)用介紹

      　　圖1：轉(zhuǎn)角運(yùn)動與線性運(yùn)動

      　　MEMS加速度計(jì)感測器通常利用位置測量介面電路測量物體的位移，然后用類比數(shù)位轉(zhuǎn)換器（ADC）將測量值轉(zhuǎn)換為數(shù)位電子訊號，以便進(jìn)行數(shù)位處理;陀螺儀則測量物體因?yàn)榭率狭铀伲–oriolis acceleration）而產(chǎn)生的共振與位移。

      　　加速度計(jì)工作塬理

      　　根據(jù)牛頓第二定律，物體加速度（m/s2）與受到的合力（N）成正比，與其質(zhì)量（kg）成反比，而加速度方向與合力相同。

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