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針對(duì)基于激光三角測(cè)距原理設(shè)計(jì)的顯微鏡自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)中,光斑在TFT-LCD面板上表面或者下表面聚焦時(shí)的鬼影以及打在金屬絲上的光斑畸變問題,提出在焦平面附近調(diào)節(jié)相機(jī)快門和增益以消除鬼影,并根據(jù)相機(jī)快門時(shí)間動(dòng)態(tài)變換光斑中心的求解方法.分析了光斑鬼影產(chǎn)生的原因和消除方法以及當(dāng)光斑圖像不同程度打在金屬絲上時(shí),導(dǎo)致光斑圖像局部明顯增強(qiáng)的特性,給出了求解光斑中心的方法.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,光斑中心位置和離焦量線性擬合R的平方值為0.991,減少了激光三角測(cè)距法的非線性誤差,實(shí)現(xiàn)了非接觸快速對(duì)焦.
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