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簡介：針對直徑檢測及控制技術(shù)向大直徑化硅棒發(fā)展的需求，設(shè)計一種低成本，功能適中的晶體生長控徑系統(tǒng)。該系統(tǒng)以ARM9系列的S3C2440為核心，基于Linux嵌入式操作系統(tǒng)設(shè)計一種圖像處理方法，根據(jù)亞像素原理計算出硅棒直徑，并為上位機(jī)提供具有特定電平的模擬信號，從而控制直拉單晶硅生長速度，使系統(tǒng)實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)可讀化。實驗表明，該系統(tǒng)能夠很好地解決圖像處理問題，圖像處理的準(zhǔn)確率滿足直徑檢測系統(tǒng)的要求，且實現(xiàn)簡單，成本較低，特別適合于對精度要求較嚴(yán)格的檢測系統(tǒng)。
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