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MEMS加速度計(jì)基本振動(dòng)特性

2023-11-28 | pdf | 1.2MB | 次下載 | 2積分

資料介紹

  MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測(cè)量廣泛機(jī)器平臺(tái)振動(dòng)的階段。其最近的能力進(jìn)步,加上MEMS加速度計(jì)已有的相對(duì)于傳統(tǒng)振動(dòng)傳感器的諸多優(yōu)勢(shì)(尺寸、重量、成本、抗沖擊性、易用性),促使一類(lèi)新興的狀態(tài)監(jiān)控 (CBM) 系統(tǒng)開(kāi)始使用MEMS加速度計(jì)。結(jié)果,許多CBM 系統(tǒng)架構(gòu)師、開(kāi)發(fā)者甚至其客戶(hù)首次考慮使用此類(lèi)傳感器。他們面臨的問(wèn)題常常是如何快速了解評(píng)估MEMS加速度計(jì)功能的方法,以便在其機(jī)器平臺(tái)上測(cè)量最重要的振動(dòng)特性。這初看起來(lái)似乎很困難,因?yàn)镸EMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)表述最重要性能特性的方式常常不是開(kāi)發(fā)人員所熟悉的。例如,許多人熟悉用線(xiàn)速度 (mm/s) 來(lái)量化振動(dòng),但大多數(shù)MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)是用基于重力的加速度 (g) 來(lái)表達(dá)其性能指標(biāo)。幸運(yùn)的是,有一些簡(jiǎn)單的技術(shù)可用來(lái)將加速度轉(zhuǎn)換為速度,以及估計(jì)加速度計(jì)關(guān)鍵特性(頻率響應(yīng)、測(cè)量范圍、噪聲密度)對(duì)重要系統(tǒng)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(帶寬、平坦度、峰值振動(dòng)、分辨率)的影響。

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