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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半絕緣半導體電阻率無接觸測試設備的研究

      半絕緣半導體電阻率無接觸測試設備的研究

      2018-02-10 | rar | 1.51 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      　　半絕緣半導體包含了第二代和第三代半導體，它們在微波、光電子、新能源及微電子領域有著廣泛的應用，電阻率一般在10jn．cnl_1012n．crr‘i之間。要研究此類新材料的電阻率分布狀況已無法用現有的探針法、霍爾法、I-V法實現。因此，參照德國din標準及我國電子行業(yè)標準，用TDCM法研發(fā)了“半絕緣半導體電阻率分布測繪儀”，設計并研制了電容性探頭、高精度三維測試臺，開發(fā)了以擬合曲線為基礎的數據處理及繪圖軟件，實現了對直徑6英寸以下SiC、CJ aAs、CdZnTe等晶片的無接觸電阻率掃描測繪，給出了彩色分布圖。

      半絕緣半導體電阻率無接觸測試設備的研究

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