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      射頻集成化薄膜電感的設(shè)計和制備

      2010-02-22 | rar | 247 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      射頻集成化薄膜電感的設(shè)計和制備

      介紹了一種新型的基于硅IC 模擬電路工藝的射頻集成薄膜電感。描述了集成薄膜電感的工作原理。采用一個緊湊集總電路模型來等效模擬集成化電感的電路效應(yīng)。結(jié)合硅基模擬IC 工藝技術(shù),采用磁性材料薄膜層的設(shè)計,給出薄膜電感工藝流程,制備了薄膜電感樣品。在1MHz～1GHz 的頻率范圍內(nèi)對薄膜電感樣品進行了阻抗特性和Q 值的測試。樣品串聯(lián)電感值為5. 52nH ,在600～800MHz 時,獲得最大為1. 4 的Q 值。

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