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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>微摩擦測(cè)試儀力傳感器的研究

      微摩擦測(cè)試儀力傳感器的研究

      2009-07-02 | rar | 189 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      討論了微尺度構(gòu)件的摩擦力測(cè)試問(wèn)題。Bhushan 和Koinkar 分別對(duì)硅材料的宏觀摩擦系數(shù)和納米摩擦系數(shù)進(jìn)行了對(duì)比實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)表明納米摩擦系數(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于宏觀摩擦系數(shù)。而在微機(jī)械構(gòu)件中,零件的大小一般為微米級(jí),甚至更大,接觸面積也較大。載荷介于宏觀和微觀之間,有時(shí)會(huì)大于nN 范圍,因此其摩擦特殊,有可能不完全等同于宏觀摩擦和納米摩擦,因此需進(jìn)一步研究。但現(xiàn)有的微摩擦測(cè)試儀器不管是載荷還是測(cè)量范圍都是基于納米量級(jí),因此需要一種用于研究微機(jī)械樣品間摩擦的專用儀器。本文主要對(duì)這種微摩擦測(cè)試儀中關(guān)鍵技術(shù)之一力傳感器進(jìn)行了研究。由于普通傳感器在測(cè)量精度較高時(shí),分辨率、靈敏度等均較低,不能滿足系統(tǒng)的要求。針對(duì)普通傳感器的不足,本文采用微機(jī)械工藝加工微力傳感器的辦法。這是由于微機(jī)械工藝采用的技術(shù)多是半導(dǎo)體工業(yè)的硅表面工藝和體硅加工工藝,因此這種傳感器可以大批量制造,且具有低成本、高精度、低驅(qū)動(dòng)、高可靠性、低功耗、占用空間小、重量輕和響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。最后對(duì)力傳感器的性能進(jìn)行了分析。
      關(guān)　鍵　詞:MEMS;微摩擦測(cè)試;力傳感器;結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
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