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標(biāo)簽 > 晶圓
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。
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一直以來,對(duì)于粒子的洗滌效果,以去除率(PRE:Particle Removal Efficiency)為指標(biāo)進(jìn)行討論。通過使用由顆粒測(cè)量?jī)x器測(cè)量的晶片...
應(yīng)用于后蝕刻TSV晶圓的表面等離子體清洗技術(shù)
直通硅通孔(TSV)器件是3D芯片封裝的關(guān)鍵推動(dòng)者,可提高封裝密度和器件性能。要實(shí)現(xiàn)3DIC對(duì)下一代器件的優(yōu)勢(shì),TSV縮放至關(guān)重要。
本文采用飛秒激光蝕刻法、深反應(yīng)離子蝕刻法和金屬催化化學(xué)蝕刻法制備了黑硅,研究發(fā)現(xiàn),在400~2200nm的波長(zhǎng)內(nèi),光的吸收顯著增強(qiáng),其中飛秒激光用六氟化...
微機(jī)械中的各向異性蝕刻技術(shù)與發(fā)展方向
單晶S1, 作為IC、LSI的電子材料, 用于微小機(jī)械部件的材料,也就是說,作為結(jié)構(gòu)材料的新用途已經(jīng)開發(fā)出來了。其理由是, 除了單晶SI或機(jī)械性強(qiáng)之外,...
微機(jī)械結(jié)構(gòu)硅片的機(jī)械減薄研究
本文提出了一種用于實(shí)現(xiàn)貫穿芯片互連的包含溝槽和空腔的微機(jī)械晶片的減薄方法。通過研磨和拋光成功地使晶圓變薄,直至達(dá)到之前通過深度反應(yīng)離子蝕刻蝕刻的空腔。研...
中國(guó)科學(xué)院金屬研究所沈陽(yáng)材料科學(xué)國(guó)家研究中心與國(guó)內(nèi)多家單位科研團(tuán)隊(duì)合作,通過設(shè)計(jì)MXene材料的離心、旋涂、光刻和蝕刻工藝,提出了具有微米級(jí)分辨率的晶圓...
盡管芯片已經(jīng)可以被如此大規(guī)模地生產(chǎn)出來,生產(chǎn)芯片卻并非易事。制造芯片的過程十分復(fù)雜,今天我們將會(huì)介紹六個(gè)最為關(guān)鍵的步驟:沉積、光刻膠涂覆、光刻、刻蝕、離...
一種在單個(gè)晶片清潔系統(tǒng)中去除后處理殘留物的方法
提供了一種在單個(gè)晶片清潔系統(tǒng)中去除后處理殘留物的方法。該方法開始于向設(shè)置在襯底上方的鄰近頭提供第一加熱流體。然后,在基板的表面和鄰近頭的相對(duì)表面之間產(chǎn)生...
在超大規(guī)模集成(ULSI)制造的真實(shí)生產(chǎn)線中,器件加工過程中存在各種污染物。由于超大規(guī)模集成電路器件工藝需要非常干凈的表面,因此必須通過清潔技術(shù)去除污染...
當(dāng)前工業(yè)機(jī)器人的關(guān)鍵技術(shù)及其應(yīng)用
我國(guó)工業(yè)機(jī)器人的市場(chǎng)主要集中在汽車、汽車零部件、摩托車、電器、工程機(jī)械、石油化工等行業(yè)。中國(guó)作為亞洲第三大的工業(yè)機(jī)器人需求國(guó),市場(chǎng)發(fā)展穩(wěn)定,汽車及其零部...
2022-03-15 標(biāo)簽:控制系統(tǒng)晶圓工業(yè)機(jī)器人 4.8k 0
本文討論并演示了痕量污染物分析儀的功能。該分析工具利用電噴霧飛行時(shí)間質(zhì)譜儀對(duì)晶圓清洗溶液進(jìn)行全自動(dòng)在線監(jiān)測(cè)。該分析儀通過其在正負(fù)模式下提供強(qiáng)(元素)和弱...
由TOK、JSR、陶氏化學(xué)等公司生產(chǎn)的新一代負(fù)色調(diào)和化學(xué)放大的正色調(diào)光阻劑在先進(jìn)的包裝應(yīng)用中獲得了發(fā)展勢(shì)頭。隨著銅柱和微凸起的采用,樹脂的厚度要求正在增...
研究碳化硅襯底和外延的實(shí)驗(yàn)報(bào)告
摘要 本發(fā)明提供一種能夠提供低位錯(cuò)缺陷的高質(zhì)量襯底的單晶碳化硅錠,和由此獲得的襯底和外延晶片。 它是一種包含單晶碳化硅的單晶碳化硅錠,該單晶碳化硅含有濃...
關(guān)于薄膜金剛石的化學(xué)機(jī)械拋光的研究報(bào)告
摘要 納米晶金剛石(NCD)可以保留單晶金剛石的優(yōu)越楊晶模量(1100GPa),以及在低溫下生長(zhǎng)的能力(450C),這推動(dòng)了NCD薄膜生長(zhǎng)和應(yīng)用的復(fù)興。...
增加電路密度而不必移動(dòng)到新技術(shù)節(jié)點(diǎn)的優(yōu)勢(shì)使得垂直擴(kuò)展成為半導(dǎo)體行業(yè)的強(qiáng)大驅(qū)動(dòng)力。但它也有一系列挑戰(zhàn),其中關(guān)鍵的挑戰(zhàn)便是刻蝕能力。
2022-01-24 標(biāo)簽:NAND晶圓泛林集團(tuán) 1.2k 0
芯片是晶圓切割完成的半成品,晶圓是芯片的載體,將晶圓充分利用刻出一定數(shù)量的芯片后,進(jìn)行切割就就成了一塊塊的芯片了。
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