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標(biāo)簽 > 濕法
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半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中,SC-1與SC-2作為RCA標(biāo)準(zhǔn)的核心步驟,分別承擔(dān)著去除有機物/顆粒和金屬離子的關(guān)鍵任務(wù)。二者通過酸堿協(xié)同機制實現(xiàn)污染物的分層剝...
濕法去膠工藝中出現(xiàn)化學(xué)殘留的原因復(fù)雜多樣,涉及化學(xué)反應(yīng)、工藝參數(shù)、設(shè)備性能及材料特性等多方面因素。以下是具體分析:化學(xué)反應(yīng)不完全或副產(chǎn)物生成溶劑選擇不當(dāng)...
在半導(dǎo)體制造過程中,若濕法去膠第一次未能完全去除干凈,可能引發(fā)一系列連鎖反應(yīng),對后續(xù)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量造成顯著影響。以下是具體后果及分析:殘留物導(dǎo)致后續(xù)工藝...
2025-09-16 標(biāo)簽:薄膜濕法半導(dǎo)體制造 188 0
濕法刻蝕的工藝指標(biāo)是確保半導(dǎo)體制造過程中圖形轉(zhuǎn)移精度和器件性能的關(guān)鍵參數(shù),主要包括以下幾個方面:刻蝕速率定義與意義:指單位時間內(nèi)材料被去除的厚度(如μm...
2025-09-02 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造 373 0
濕法清洗中的“尾片效應(yīng)”是指在批量處理晶圓時,最后一片(即尾片)因工藝條件變化導(dǎo)致清洗效果與前面片子出現(xiàn)差異的現(xiàn)象。其原理主要涉及以下幾個方面:化學(xué)試劑...
標(biāo)準(zhǔn)清洗液SC-1是半導(dǎo)體制造中常用的濕法清洗試劑,其核心成分包括以下三種化學(xué)物質(zhì):氨水(NH?OH):作為堿性溶液提供氫氧根離子(OH?),使清洗液呈...
2025-08-26 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造 524 0
選擇合適的濕法清洗設(shè)備需要綜合評估多個技術(shù)指標(biāo)和實際需求,以下是關(guān)鍵考量因素及實施建議:1.清洗對象特性匹配材料兼容性是首要原則。不同半導(dǎo)體基材(硅片、...
半導(dǎo)體濕法去膠是一種通過化學(xué)溶解與物理輔助相結(jié)合的技術(shù),用于高效、可控地去除晶圓表面的光刻膠及其他工藝殘留物。以下是其核心原理及關(guān)鍵機制的詳細(xì)說明:化學(xué)...
濕法蝕刻工藝與顯示檢測技術(shù)的協(xié)同創(chuàng)新
在顯示技術(shù)飛速迭代的今天,微型LED、柔性屏、透明顯示等新型器件對制造工藝提出了前所未有的挑戰(zhàn):更精密的結(jié)構(gòu)、更低的損傷率、更高的量產(chǎn)一致性。作為研發(fā)顯...
半導(dǎo)體制造關(guān)鍵工藝:濕法刻蝕設(shè)備技術(shù)解析
刻蝕工藝的核心機理與重要性 刻蝕工藝是半導(dǎo)體圖案化過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),與光刻機和薄膜沉積設(shè)備并稱為半導(dǎo)體制造的三大核心設(shè)備??涛g的主要作用是將光刻膠上的圖...
2025-04-27 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造刻蝕 1.5k 0
芯片濕法蝕刻工藝是一種在半導(dǎo)體制造中使用的關(guān)鍵技術(shù),主要用于通過化學(xué)溶液去除硅片上不需要的材料。 基本概念 濕法蝕刻是一種將硅片浸入特定的化學(xué)溶液中以去...
芯片濕法刻蝕方法主要包括各向同性刻蝕和各向異性刻蝕。為了讓大家更好了解這兩種方法,我們下面準(zhǔn)備了詳細(xì)的介紹,大家可以一起來看看。 各向同性刻蝕 定義:各...
大家知道芯片是一個要求極其嚴(yán)格的東西,為此我們生產(chǎn)中想盡辦法想要讓它減少污染,更加徹底去除污染物。那么,今天來說說,大家知道芯片濕法刻蝕殘留物到底用什么...
提高濕法刻蝕的選擇比,是半導(dǎo)體制造過程中優(yōu)化工藝、提升產(chǎn)品性能的關(guān)鍵步驟。選擇比指的是在刻蝕過程中,目標(biāo)材料與非目標(biāo)材料的刻蝕速率之比。一個高的選擇比意...
濕法刻蝕是一種在半導(dǎo)體制造過程中常用的技術(shù),用于通過化學(xué)反應(yīng)溶解或腐蝕材料表面,以形成所需的紋理或結(jié)構(gòu)。 以下是濕法刻蝕的詳細(xì)工藝原理: 準(zhǔn)備工作 在進...
晶圓濕法刻蝕原理是指通過化學(xué)溶液將固體材料轉(zhuǎn)化為液體化合物的過程。這一過程主要利用化學(xué)反應(yīng)來去除材料表面的特定部分,從而實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料的精細(xì)加工和圖案...
濕法蝕刻工藝的原理是使用化學(xué)溶液將固體材料轉(zhuǎn)化為液體化合物。選擇性非常高, 因為使用的化學(xué)品可以非常精確地適應(yīng)單個薄膜。對于大多數(shù)解決方案,選擇性大于1...
至純科技:下半年訂單飆升,濕法設(shè)備市場領(lǐng)跑
至純科技旗下的至微科技是國內(nèi)濕法設(shè)備市場主流供應(yīng)商之一,在28納米節(jié)點實現(xiàn)了全覆蓋,全工藝機臺亦均有訂單。在更為尖端的制程中,至微科技已有部分工藝獲得訂單。
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