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白光干涉儀在肖特基二極管晶圓的深溝槽 3D 輪廓測(cè)量
摘要:本文研究白光干涉儀在肖特基二極管晶圓深溝槽 3D 輪廓測(cè)量中的應(yīng)用,分析其工作原理及適配深溝槽結(jié)構(gòu)的技術(shù)優(yōu)勢(shì),通過(guò)實(shí)際案例驗(yàn)證其測(cè)量精度,為肖特基...
精密機(jī)床主軸軸承孔孔深光學(xué) 3D 輪廓測(cè)量 - 激光頻率梳 3D 輪廓技術(shù)
一、引言 精密機(jī)床主軸軸承孔(直徑 20-80mm,長(zhǎng)徑比 5-18,同軸度要求≤0.5μm,孔壁粗糙度 Ra≤0.2μm,材質(zhì)多為 40CrNiMoA...
在對(duì)微/納機(jī)電系統(tǒng)(micro/nano electro me-chanical system,MEMS/NEMS)結(jié)構(gòu)的特性參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和MEMS/N...
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