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統(tǒng)及原理雙束聚焦離子束系統(tǒng)可簡單地理解為是單束聚焦離子束和普通SEM之間的耦合。單束聚焦離子束系統(tǒng)包括離子源,離子光學柱,束描畫系統(tǒng),信號采集系統(tǒng),樣品...
聚焦離子束雙束系統(tǒng)在微機電系統(tǒng)失效分析中的應用
聚焦離子束(FIB)技術概述聚焦離子束(FIB)技術是一種通過離子源產生的離子束,經過過濾和靜電磁場聚焦,形成直徑為納米級的高能離子束。這種技術用于對樣...
詳細解讀——FIB-SEM技術(聚焦離子束)制備透射電鏡(TEM)樣品
子束技術概述聚焦離子束技術是一種先進的納米加工技術,它通過靜電透鏡將離子束精確聚焦至2至3納米的束寬,對材料表面進行精細的加工處理。這項技術能夠實現材料...
三維電子背散射衍射(EBSD)技術:FIB-SEM與EBSD的結合應用案例
三維電子背散射衍射技術(3D-EBSD)在材料科學領域,對材料的微觀結構進行精確分析是至關重要的。傳統(tǒng)的電子背散射衍射(EBSD)技術主要提供樣品表面的...
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