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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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控制權大作戰(zhàn):誰才是智能家居系統(tǒng)的控制中心
該智能家居生態(tài)系統(tǒng)的出現(xiàn)使得家中大量智能設備成為多余擺設。而顯示屏和家居自動控制等最近附加的功能導致智能設備外形也發(fā)生了改變,盡管尚未針對各個房間的需求...
光線傳感器和距離傳感器一般都是放在一起,位于手機屏幕聽筒周圍。這樣就存在一個問題,手機屏幕上方開太多洞或黑色長條不太好看,各大手機廠商都一直在想方設法減...
紐迪瑞發(fā)布MEMS數(shù)字氣壓傳感器,解決高精度壓力測量難題
具體而言,傳感器通過檢測手機當前位置的大氣壓力,利用大氣壓與海拔高度的換算關系,將壓力轉(zhuǎn)化為海拔高度,即可實現(xiàn)GPS輔助定位,為用戶提供精準的海拔信息。...
換能器的英文名稱是transducer,用于實現(xiàn)不同形式的能量相互轉(zhuǎn)換的儀器或器件可以通稱為換能器。
根據(jù)上述4顆MEMS芯片(3種類型:X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計)的結構剖析及材料分析,繪制出MEMS芯片結構示意圖,并以X/Y軸陀螺儀為例...
從國內(nèi)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程來看,1986年國家將傳感器技術列入國家重點攻關項目,到2000年傳感器技術體系和產(chǎn)業(yè)初步建立,國產(chǎn)傳感器技術水平不斷進步。
當外界環(huán)境溫度變化時, MEMS芯片上的硅烷偶聯(lián)劑與硅膠表面結合發(fā)生化學反應,使硅烷的化學性質(zhì)也隨之發(fā)生變化,當此變化超過硅烷的臨界值時,將引起硅烷偶聯(lián)...
良好的機械強度:玻璃是一種相對堅固且耐用的材料,可以保護MEMS器件免受機械應力的影響。另外,不同于金屬或其他材料, 玻璃材料不會產(chǎn)生疲勞效應。適用于長...
導電聚合物因其高離子電導率和優(yōu)異的機械柔性等獨特優(yōu)勢,被認為是一種極具潛力的智能材料。
數(shù)十年來,基于石英的時鐘器件一直為航空航天和國防應用提供參考時鐘。盡管,多年來基于石英的振蕩器不斷增強以改進其缺點,但其固有不足使其成為下一代防御系統(tǒng)(...
高度可靠、精密測量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標準量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
如何構建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測中的振動檢測
本文展示了一種基于ADXL1002 MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。該解決方案可用于軸承分析或發(fā)動機監(jiān)控,以及需要高達 ±50 ...
SPI至RS-422/RS-1設計解決方案的詳細物理層設計注意事項
為MEMS實現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
您需要了解的有關狀態(tài)監(jiān)測的MEMS加速度計的信息
市場上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計作為核心傳感器。這些經(jīng)濟型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
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