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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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如何為無(wú)線狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)選擇最佳MEMS傳感器
有數(shù)以百萬(wàn)計(jì)的電動(dòng)機(jī)在連續(xù)運(yùn)行,消耗全球約45%的電力。1其中大多數(shù)關(guān)鍵電機(jī)可能由有線CbM系統(tǒng)監(jiān)控。根據(jù)一項(xiàng)研究,82% 的受訪公司經(jīng)歷過計(jì)劃外維護(hù),...
如何識(shí)別和診斷交流感應(yīng)電機(jī)特定的故障類型
當(dāng)工廠中的關(guān)鍵電機(jī)意外發(fā)生故障時(shí),生產(chǎn)就會(huì)停止。如果需要更換特定部件甚至整個(gè)電機(jī),則可能會(huì)產(chǎn)生較長(zhǎng)的交貨時(shí)間。計(jì)劃外停機(jī)的成本是計(jì)劃內(nèi)停機(jī)的 10 倍。...
基于法拉第電磁感應(yīng)定律的單片集成MEMS三軸磁場(chǎng)傳感器
該研究中對(duì)傳感器進(jìn)行的相關(guān)測(cè)試仍采用開環(huán)驅(qū)動(dòng)電路,閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路由于電路匹配問題仍在優(yōu)化過程中。預(yù)計(jì)采用閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行測(cè)試后,傳感器的靈敏度將得到提高,...
2022-12-05 標(biāo)簽:mems磁場(chǎng)傳感器 1.1k 0
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,來(lái)自南京理工大學(xué)的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結(jié)了體微加工技術(shù)和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
共聚焦激光內(nèi)窺鏡用于識(shí)別中空器官上皮細(xì)胞中的疾病
共聚焦激光內(nèi)窺鏡(Confocal laser endomicroscopy)是一種新興的成像技術(shù),作為一種常規(guī)醫(yī)學(xué)內(nèi)窺鏡附件正在開發(fā)臨床應(yīng)用。
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對(duì)于各種表面探測(cè)技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場(chǎng)顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場(chǎng)顯微術(shù)中,它們?cè)谛隙葼顟B(tài)下的力學(xué)行為被很好的...
2022-11-21 標(biāo)簽:mems 1k 0
MEMS聲學(xué)傳感器的出現(xiàn),讓音箱不再只能單純播放音樂,而是成為可以與人互動(dòng)的智能終端。
納米技術(shù)涉及到材料的操縱和結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)的建立它們以原子的規(guī)模存在,分子=納米尺度。
怎樣使用虹科DLO-M1液體密度傳感器進(jìn)行密度測(cè)量呢
亞毫米級(jí)的測(cè)量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測(cè)量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
利用標(biāo)準(zhǔn)代工平臺(tái)構(gòu)建硅光子MEMS微環(huán)諧振濾波器
通常,利用光子集成電路(PIC)執(zhí)行此操作。光子集成電路將光限制并引導(dǎo)到微尺度組件中,例如陣列波導(dǎo)光柵或集成環(huán)形諧振器等,這些組件在多個(gè)波長(zhǎng)通道中操縱信息。
反射型顯示器技術(shù)背后的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀
電潤(rùn)顯示的反應(yīng)速度要比電泳快很多,但要實(shí)現(xiàn)與LCD一樣的反應(yīng)速度,電潤(rùn)材料的液體粘性仍然很難克服,而且即便是其粘度能達(dá)到與液晶一樣,其分子自組裝仍然需要...
為了提高流體機(jī)械的效率,需要表征曲面上的近壁流動(dòng),以抑制這種流動(dòng)分離。不過,實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要解決多方面的挑戰(zhàn)。
根據(jù)胡克定律,在彈性限度內(nèi), 物體的形變跟引起形變的外力成正比。
可變光衰減器包括機(jī)械式技術(shù)、可調(diào)衍射光柵技術(shù)、MEMS技術(shù)、液晶技術(shù)、磁光技術(shù)、平面光波導(dǎo)技術(shù)等。
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的結(jié)合,通常...
犧牲層技術(shù)自20世紀(jì)80 年代美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校開發(fā)至今,得到了快速發(fā)展。犧牲層技術(shù)是 MEMS 工藝設(shè)計(jì)中有別于傳統(tǒng)IC制造工藝技術(shù)之一
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測(cè)試靜電激勵(lì)技術(shù)中的應(yīng)用
MEMS測(cè)試技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一,微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試對(duì)MEMS器件的性能及其設(shè)計(jì)、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評(píng)價(jià)等方面均具有重要的意...
該壓電MEMS超聲換能器由兩部分組成:Mo/AIN/Mo壓電層和刻蝕有空腔的SOI襯底。其工作原理是當(dāng)電場(chǎng)為交變電場(chǎng)時(shí),壓電層做周期性地拉伸與收縮,從而...
基于3D打印技術(shù)的MEMS加速度計(jì)的設(shè)計(jì)
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件,例如MEMS加速度計(jì),廣泛應(yīng)用于汽車電子、消費(fèi)電子和生物醫(yī)療等行業(yè)。利用半導(dǎo)體制造技術(shù)可有效地大批量生產(chǎn)MEMS器件,但對(duì)于...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
2022-10-13 標(biāo)簽:mems芯片設(shè)計(jì)微機(jī)械 8.5k 0
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