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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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傳感器性能如何實現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案
下面重點介紹幾種常見故障類型及其特征,以深入了解開發(fā)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案時必須考慮的一些關(guān)鍵系統(tǒng)要求。這些包括但不限于不平衡、不對中、齒輪故障和滾動軸承缺陷。
為了獲得高分辨率數(shù)據(jù),可靠地識別小目標(biāo),激光必須準(zhǔn)直地?fù)糁心繕?biāo),這是通過在激光器前面放置一個透鏡來實現(xiàn)的。
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開發(fā)并...
我們曾在之前發(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計》中指出, MEMS麥克風(fēng)的需求是由客戶所要求的音頻功能驅(qū)動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
在環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療診斷和工業(yè)產(chǎn)品制造等領(lǐng)域,能夠?qū)Χ喾N分析物進(jìn)行選擇性檢測的高性能氣體/化學(xué)傳感器是近些年研究關(guān)注的熱點。
微機(jī)械結(jié)構(gòu)硅片的機(jī)械減薄研究
本文提出了一種用于實現(xiàn)貫穿芯片互連的包含溝槽和空腔的微機(jī)械晶片的減薄方法。通過研磨和拋光成功地使晶圓變薄,直至達(dá)到之前通過深度反應(yīng)離子蝕刻蝕刻的空腔。研...
振動監(jiān)測 (VM) 已經(jīng)問世很長一段時間,并且已被用于監(jiān)測機(jī)器、設(shè)備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機(jī)器運行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動數(shù)據(jù)以對其進(jìn)行實時監(jiān)...
中山大學(xué)電子與信息技術(shù)學(xué)院林佑昇副教授團(tuán)隊近日在Electronics期刊上發(fā)表了一篇綜述文章,研究并評估了利用靜電驅(qū)動(ESA)、電熱驅(qū)動(ETA)、...
原子層沉積(ALD)工藝助力實現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺
Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù),用于在晶圓級上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過原子層沉積(ALD)...
應(yīng)用高級傳感器和算法進(jìn)行低成本運動跟蹤
高性能運動跟蹤技術(shù)已經(jīng)從深奧的軍事、航空電子設(shè)備、海洋和工業(yè)應(yīng)用遷移到不斷擴(kuò)大的消費應(yīng)用范圍。盡管如此,將高性能運動跟蹤引入消費市場通常會迫使設(shè)計人員協(xié)...
使用LTspice進(jìn)行工程電源和MEMS信號鏈模擬
現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高,并且放置在振動源附近,用于測量振動頻率。頻率隨時間的變化表明振動源(電機(jī)、發(fā)電機(jī)等)存在問題。
5.??? MEMS 振蕩器對 EMI 的敏感度要低得多 電磁能在大多數(shù)系統(tǒng)中很常見,可以通過將晶體諧振器連接到包含振蕩器電路的 IC 的暴露 PCB ...
1 簡介 半導(dǎo)體組件有望在產(chǎn)品的整個生命周期內(nèi)可靠地運行。 選擇具有最高可靠性等級的設(shè)備可以限制故障組件導(dǎo)致現(xiàn)場產(chǎn)品出現(xiàn)故障的可能性。 SiTime 提...
SiTime高性能MEMS時鐘方案在5G中的應(yīng)用
一、什么是5G 5G是第五代移動通信技術(shù)(5th-Generation)的簡稱,是新一代的蜂窩移動通信技術(shù),也是繼4G、3G、2G系統(tǒng)之后的延伸,5G的...
不同類型時鐘產(chǎn)品的特性及選擇時應(yīng)該注意哪些
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/程文智)不論我們設(shè)計的電子產(chǎn)品是應(yīng)用在云計算、無線LTE、數(shù)據(jù)中心,還是物聯(lián)網(wǎng)、汽車、醫(yī)療保健,或者是航空航天等領(lǐng)域,系統(tǒng)內(nèi)必然需...
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