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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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德州儀器DLP550HE數(shù)字微鏡器件(DMD)技術(shù)解析
Texas Instruments DLP550HE數(shù)字微鏡器件(DMD) 是一款數(shù)控微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 空間光調(diào)制器 (SLM),可用于實(shí)現(xiàn)明亮...
DLP670RE數(shù)字微鏡器件(DMD)技術(shù)解析與應(yīng)用指南
Texas Instruments DLP670RE數(shù)字微鏡設(shè)備(DMD)是一種數(shù)控微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)空間光調(diào)制器(SLM),能夠?qū)崿F(xiàn)明亮、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠...
MEMS慣性器件包括MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀,前者測(cè)量物體的加速度,通過(guò)一次積分和二次積分獲得物體的速度和位置。后者測(cè)量物體的姿態(tài)角速率,通過(guò)積...
超低功耗MCU的發(fā)展創(chuàng)造了一個(gè)巨大且不斷擴(kuò)容的能量收集市場(chǎng),無(wú)論是規(guī)劃便攜式電池供電設(shè)備,還是希望提高大型設(shè)備的能源效率,所有設(shè)計(jì)工程師都在積極將能量收...
當(dāng)前,盡管針對(duì) MEMS 器件的制備工藝與相關(guān)設(shè)備已開(kāi)展了大量研究,但仍有不少 MEMS 傳感器未能實(shí)現(xiàn)廣泛的商業(yè)化落地,其中一個(gè)重要原因便是 MEMS...
【干貨】北斗三號(hào)+ MEMS慣性傳感器:國(guó)產(chǎn)高精度導(dǎo)航的突圍路徑
GNSS/INS慣系統(tǒng)(GNSS/INS,GlobalNavigationSatelliteSystem/InertialNavigationSyste...
臺(tái)階儀表征MEMS壓力傳感器硅槽刻蝕:TMAH80℃下薄膜良率達(dá)到92.67%
當(dāng)前MEMS壓力傳感器在汽車(chē)、醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛,其中應(yīng)力敏感薄膜的厚度是影響傳感器性能的關(guān)鍵一,因此刻蝕深度合格且均勻性良好的薄膜至關(guān)重要。費(fèi)曼儀器...
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))中,銅(Cu)因優(yōu)異的電學(xué)、熱學(xué)和機(jī)械性能,成為一種重要的金屬材料,廣泛應(yīng)用于電極、互連、結(jié)構(gòu)層等關(guān)鍵部件。
2025-08-12 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)TSV 562 0
遠(yuǎn)距MEMS/固態(tài)vsTOF近距方案,哪種會(huì)成為主流?
[首發(fā)于智駕最前沿微信公眾號(hào)]最近有位小伙伴在后臺(tái)提問(wèn),最近仰望U8L發(fā)布了,側(cè)向激光雷達(dá)采用速騰聚創(chuàng)M1P這種遠(yuǎn)距激光雷達(dá),而尊界問(wèn)界系列側(cè)向激光雷達(dá)...
優(yōu)化導(dǎo)航系統(tǒng)中的MEMS IMU數(shù)據(jù)一致性和時(shí)序
PNT專家Dana Goward在近期的一篇社論中指出,如今社會(huì)極度依賴GPS提供的位置導(dǎo)航授時(shí)服務(wù)(PNT)?,F(xiàn)有GPS/GNSS PNT服務(wù)面臨著一...
2025-07-11 標(biāo)簽:mems導(dǎo)航系統(tǒng)IMU 1.3k 0
在MEMS制造工藝中,干法刻蝕是通過(guò)等離子體、離子束等氣態(tài)物質(zhì)對(duì)薄膜材料或襯底進(jìn)行刻蝕的工藝,其評(píng)價(jià)參數(shù)直接影響器件的結(jié)構(gòu)精度和性能。那么干法刻蝕有哪些...
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、±400g微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),以2560Hz...
氫電解槽處于清潔能源革命的前沿,能夠通過(guò)水電解生產(chǎn)氫氣。隨著對(duì)綠色氫氣需求的增長(zhǎng),效率、安全和精度比以往任何時(shí)候都更加重要。為氫電解槽選擇正確的傳感器技...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、3軸微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計(jì),在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
傾角計(jì)是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機(jī),從保障安全的工程機(jī)械到預(yù)警地質(zhì)災(zāi)害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
2025-06-20 標(biāo)簽:mems工業(yè)自動(dòng)化傾角計(jì) 398 0
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選...
MEMS制造領(lǐng)域中光刻O(píng)verlay的概念
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機(jī)將...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開(kāi)關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開(kāi)關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開(kāi)關(guān),采用An...
鉆井與測(cè)井作業(yè)對(duì)定向和井眼軌跡控制要求較高,傳統(tǒng)光纖陀螺儀和磁性測(cè)斜儀體積大、抗干擾能力弱、成本高。MEMS陀螺儀憑借其微型化、高可靠性和環(huán)境適應(yīng)性,成...
瑞之辰銳評(píng)MEMS傳感器在打氣泵上的應(yīng)用與原理
應(yīng)用場(chǎng)景MEMS傳感器在打氣泵中的應(yīng)用主要集中在壓力監(jiān)測(cè)和流量控制方面。通過(guò)集成MEMS壓力傳感器和流量傳感器,打氣泵可以實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的氣壓控制和流量調(diào)節(jié)...
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