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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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1 簡介 半導(dǎo)體組件有望在產(chǎn)品的整個生命周期內(nèi)可靠地運行。 選擇具有最高可靠性等級的設(shè)備可以限制故障組件導(dǎo)致現(xiàn)場產(chǎn)品出現(xiàn)故障的可能性。 SiTime 提...
SiTime高性能MEMS時鐘方案在5G中的應(yīng)用
一、什么是5G 5G是第五代移動通信技術(shù)(5th-Generation)的簡稱,是新一代的蜂窩移動通信技術(shù),也是繼4G、3G、2G系統(tǒng)之后的延伸,5G的...
不同類型時鐘產(chǎn)品的特性及選擇時應(yīng)該注意哪些
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/程文智)不論我們設(shè)計的電子產(chǎn)品是應(yīng)用在云計算、無線LTE、數(shù)據(jù)中心,還是物聯(lián)網(wǎng)、汽車、醫(yī)療保健,或者是航空航天等領(lǐng)域,系統(tǒng)內(nèi)必然需...
DelfMEMS開關(guān)已經(jīng)成為典型的LTE-A射頻前端的理想解決方案,因為這時的低插損是關(guān)鍵。高的插損將直接負(fù)面影響智能手機的電池壽命,并降低接收靈敏度,...
基于GPS/MEMS組合芯片實現(xiàn)高精度定位解決方案
在過去十年中,GPS定位已經(jīng)從主要由專業(yè)人員使用的專用高端技術(shù)轉(zhuǎn)變?yōu)橄M者日常使用的一種技術(shù)。這種轉(zhuǎn)變是具有GPS功能的兩代器件在大眾化設(shè)備中普及GPS...
傳感器技術(shù)在無線網(wǎng)絡(luò)化時代的發(fā)展
現(xiàn)實世界的信息是通過傳感器獲得的,與人們的生活息息相關(guān)。傳感器已大舉進(jìn)入工業(yè)自動化、汽車工業(yè)、航天、生物、醫(yī)學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域,且在無線通信、消費品領(lǐng)域亦有廣泛...
解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計
MEMS(微型機電系統(tǒng))麥克風(fēng)是提供高保真聲感的微型器件,體積小,可緊密集成于電子產(chǎn)品中,如智能手機、智能揚聲器以及耳機等電子消費品。
2021-05-10 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)泛林集團(tuán) 2.6k 0
MEMS陀螺儀在惡劣高溫環(huán)境下提供準(zhǔn)確的慣性檢測
ADI公司新開發(fā)了一款集成信號調(diào)理功能的高溫MEMS陀螺儀,即ADXRS645。此傳感器即使在沖擊和振動環(huán)境下也能實現(xiàn)準(zhǔn)確的角速率(轉(zhuǎn)速)測量,且額定工...
基于LPC2138微處理器實現(xiàn)機器人手臂控制器的應(yīng)用方案
近年來,隨著MEMS及相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,微機器人領(lǐng)域已越來越來受人關(guān)注。但由于零件的尺寸很小,微機器人組件的裝配需要很高的精確度,一般的裝配方法無法滿足要...
基于SIP技術(shù)的車用壓力傳感器的工作原理及應(yīng)用研究
經(jīng)過幾十年的研究與開發(fā),MEMS器件與系統(tǒng)的設(shè)計制造工藝逐步成熟,但產(chǎn)業(yè)化、市場化的MEMS器件的種類并不多,還有許多MEMS仍未能大量走出實驗室,充分...
基于PID參數(shù)自整定控制技術(shù)實現(xiàn)溫度控制系統(tǒng)的設(shè)計
在微電子器件領(lǐng)域,針對SiC器件的研究較多,已經(jīng)取得了較大進(jìn)展,而在MEMS領(lǐng)域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內(nèi),SiC MEMS的研究...
2021-03-29 標(biāo)簽:傳感器控制系統(tǒng)mems 4.6k 0
Evonetix提出的專有方法是開發(fā)一個將物理學(xué)和生物學(xué)相結(jié)合的平臺,在芯片表面成千上萬個獨立控制的微型反應(yīng)位點調(diào)節(jié)DNA的合成。
MEMS存儲設(shè)備的請求調(diào)度算法以及數(shù)據(jù)布局策略詳細(xì)介紹
MEMS也即微機電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認(rèn)識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進(jìn)大家對MEMS的了解程度...
MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)...
MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進(jìn)行的MEMS制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結(jié)構(gòu)單元...
MEMS存儲設(shè)備的請求調(diào)度算法及數(shù)據(jù)布局策略的詳細(xì)介紹
MEMS也即微機電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認(rèn)識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進(jìn)大家對MEMS的了解程度...
MEMS也就是微機電系統(tǒng),對于MEMS系統(tǒng),我們或多或少有所認(rèn)識。上篇文章中,小編對MEMS存儲設(shè)備的請求調(diào)度算法有所介紹。為增進(jìn)大家對MEMS的了解,...
MEMS的工藝流程和MEMS加速度計的應(yīng)用前景詳細(xì)說明
MEMS技術(shù)是目前很多廠家都在使用的先進(jìn)技術(shù)之一,在前兩篇文章中,小編對MEMS存儲設(shè)備請求調(diào)度算法以及MEMS存儲設(shè)備的故障管理有所介紹。為增進(jìn)大家對...
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