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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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目前,氣體傳感器的應用日趨廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應用的推動下,其技術(shù)發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能
國內(nèi)和國際MEMS晶圓級測試技術(shù)對比分析
晶圓級測試技術(shù)應用于MEMS產(chǎn)品開發(fā)全周期的3個階段:(1)產(chǎn)品研發(fā)(R&D)階段:用以驗證器件工作和生產(chǎn)的可行性,獲得早期器件特征。(2)產(chǎn)品試量產(chǎn)階...
本文介紹了壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品的設計過程,包括傳感器的仿真、設計以及它與整個系統(tǒng)的集成。
固體電解質(zhì)氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關(guān)系密切。傳統(tǒng)的燒結(jié)體型器件難于控制電...
具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領域的氣體檢測,該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設的核心節(jié)...
村田通過MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達到了小型化,并實現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
目前應用最廣泛的麥克風類型是微機電系統(tǒng)(MEMS)電容式麥克風,其主要結(jié)構(gòu)為電容器結(jié)構(gòu),由背極板、振膜以及背極板和振膜之間的空氣域組成。
“要保證動車組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對來自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應力進行實時監(jiān)測,并將電信號傳輸給列車指揮系統(tǒng)?!北本┙煌ù髮W教授...
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應用
壓力傳感器有多種不同的應用,其中最常見的應用是氣象監(jiān)測。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機里就有一個。你的手機使用壓...
2018-11-28 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 6.8k 0
隨著智能設備的迅猛發(fā)展,市場需要更高性能的麥克風,而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風提供高性能和保真度及可靠性,適用于便攜式設備。本文介紹了MEMS麥克...
剖析MEMS氣壓傳感器在物聯(lián)網(wǎng)中的應用
據(jù)麥姆斯咨詢報道,氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯(lián)網(wǎng)(IoT)中有非常廣泛的應用,從氣象監(jiān)測到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。
2018-11-26 標簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 4.7k 0
艾邁斯半導體推出了一款用于檢測廚房環(huán)境中的氣體傳感器模塊
據(jù)麥姆斯咨詢報道,全球領先的高性能傳感器解決方案供應商艾邁斯半導體(ams)宣布推出新版iAQ-Core模塊,這是一款用于檢測廚房環(huán)境中的蒸汽、氣味和煙...
意法半導體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預算內(nèi)實現(xiàn)高精度測量。
淺析近年值得關(guān)注的新興MEMS和傳感器技術(shù)
今天的大部分重磅MEMS產(chǎn)品,都是作為學術(shù)研究成果而誕生的。
MEMS傳感器技術(shù)優(yōu)化制造業(yè)預測維護手段
在工業(yè)制造運營中,被動的設備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個主要因素,這種維修本來是可以避免的。
鈦MEMS技術(shù)在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應用前景
近年來,受益于MEMS技術(shù),傳感器和執(zhí)行器小型化的同時,性能、功能和靈敏度也得到增強;加上低成本、個性化醫(yī)療應用潛力,MEMS器件在醫(yī)療和生物領域的應用...
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