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標(biāo)簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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微機械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機械加工技術(shù)、結(jié)合加工、逐次加工。
2013-01-30 標(biāo)簽:ICMEMS微機械系統(tǒng) 1.1萬 1
醫(yī)療應(yīng)用新突破 MEMS壓力傳感器創(chuàng)新設(shè)計
目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。研發(fā)人員制作出一種小型傳感器,這種傳感器將一個...
由于采用了Technitrol的MEMS(微電子機械系統(tǒng))麥克風(fēng)技術(shù),一系列極具創(chuàng)新性的MEMS產(chǎn)品得以投放到在硅麥克風(fēng)市場。首批上市的產(chǎn)品為愛普科斯T...
ABS系統(tǒng)必須增添額外的傳感器來實現(xiàn)ESP功能,包括方向盤角度傳感器、偏航速率傳感器和低重力加速度傳感器,這些傳感器都用來測量車輛的動態(tài)響應(yīng)。顯然,這為...
MEMS模型由系統(tǒng)和IC 設(shè)計師使用,因此模型應(yīng)當(dāng)盡可能緊密地集成到用戶的設(shè)計流程。對于IC 設(shè)計師,這需要模型支持所有模擬器,具有設(shè)計流程中的各種實體...
2013-01-24 標(biāo)簽:轉(zhuǎn)換器MEMS 1.1k 0
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進的制造技術(shù)平臺。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。MEM...
2013-01-22 標(biāo)簽:MEMS菲爾斯特微機電技術(shù) 2.8k 5
如果說很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現(xiàn)代電子系統(tǒng)的大腦,那么時鐘組件當(dāng)之無愧是其心臟。無論是電子工程師還是元器件采購者,在選擇時鐘組件時都會經(jīng)過全面...
VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,研制出一種簡單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護...
mems(微機電系統(tǒng))傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
MEMS存儲器是一種新型存儲器件,本內(nèi)容介紹了MEMS存儲設(shè)備的管理技術(shù),請求調(diào)度算法,數(shù)據(jù)布局策略等內(nèi)容
反射式MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無源器件,本內(nèi)容詳細(xì)介紹了MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用。
目前MEMS傳感器在消費類電子產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用,但是MEMS角速率陀螺儀存在嚴(yán)重的零點漂移和隨機誤差,在捷聯(lián)慣性導(dǎo)航解算中會產(chǎn)生積分誤差,難以達到應(yīng)用的精度。
在我們的世界里,視覺和聲音都是類比形式,但當(dāng)我們利用電子訊號來獲取、儲存和傳送這些類比現(xiàn)象時,采用數(shù)位技術(shù)卻能帶來許多重大優(yōu)點;音訊處理就是個例子,當(dāng)它...
2012-05-11 標(biāo)簽:MEMSDLP技術(shù)DMD 4.8k 0
本文分析了微/納機電系統(tǒng)的發(fā)展特點,討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個問題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。
2012-03-08 標(biāo)簽:MEMS微機電系統(tǒng) 3.4k 0
文中介紹通過采用MEMS(micro electro mechanical systems)技術(shù)制造的硅壓阻力敏元件結(jié)合智能集成化信號調(diào)理技術(shù)設(shè)計了適合...
mems (微機電系統(tǒng))傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
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