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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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? 姿態(tài)估計的作用? 姿態(tài)估計是飛控算法的一個基礎部分,而且十分重要。為了完成飛行器平穩(wěn)的姿態(tài)控制,首先需要精準的姿態(tài)數(shù)據(jù)作為 控制器的反饋 。 ? 飛...
微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
2023-11-09 標簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 951 0
什么是圖像穩(wěn)定?圖像穩(wěn)定已成為智能手機必備功能
智能手機相機技術是由許多部件構成的,包括傳感器、鏡頭和激光對焦系統(tǒng)等。
如何對系統(tǒng)和組件進行可靠的封裝是微系統(tǒng)工業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn),因為微系統(tǒng)的封裝技術遠沒有微電子封裝技術成熟。微系統(tǒng)封裝在廣義上講有三個主要的任務:裝配、封裝...
半導體產(chǎn)品在由二維向三維發(fā)展,從技術發(fā)展方向半導體產(chǎn)品出現(xiàn)了系統(tǒng)級封裝(SiP)等新的封裝方式,從技術實現(xiàn)方法出現(xiàn)了倒裝(FlipChip),凸塊(Bu...
當今的科學技術如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,M...
制造MEMS芯片需要什么工藝?對傳感器有什么影響?這次終于講明白了?。ㄍ扑])
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦!...
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