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標簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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本文介紹了一種基于MEMS的可調(diào)色散補償儀并詳細講述其工作原理,利用它可以實現(xiàn)真正的多信道色散補償。
STMicroelectronics (NYSE: STM), a global semiconductor leader serving custom...
本文介紹的單片集成電容式壓力傳感器,傳感器電容結(jié)構(gòu)由多晶硅/柵氧/n阱硅構(gòu)成,并通過體硅腐蝕和陽極鍵合等后處理工藝完成了電容結(jié)構(gòu)的釋放和腔的真空密封。
微機電系統(tǒng)(MEMS)振蕩器全面取代石英晶體振蕩器的美夢難圓。雖然MEMS振蕩器基于與半導體制程和封裝技術相容而樹立低成本優(yōu)勢;然而,其在溫度及相噪(P...
2011-11-25 標簽:MEMS 1.6k 0
石英晶體振蕩器(OCXO)一直在電子產(chǎn)品中扮演重要角色,不過,硅MEMS振蕩器憑借高性能、低成本和易用性的完美結(jié)合,正在強勢進入規(guī)模達50億美元的時鐘市場。
MEMS高精密恒溫晶振時鐘出現(xiàn) 供應市場面臨洗牌
從德國博世分離出來的硅MEMS時鐘供應商SiTime公司宣告成功推出了SiT530x系列全硅MEMS三級鐘解決方案,它們可以完全替代傳統(tǒng)的恒溫晶振和溫補晶振產(chǎn)品
當前,我國壓力傳感器行業(yè)中不但產(chǎn)品存在多方面的問題,其生產(chǎn)企業(yè)也存在一定的劣勢。目前我國壓力傳感器產(chǎn)品還存在可靠性較差對基礎技術和制造工藝的研究不夠
SiTime提供的MEMS時鐘器件由封裝在8寸標準晶圓片上的MEMS諧振器(晶圓級封裝)和模擬IC(包括PLL,VCO)整合封裝而成,并且采用了低成本可...
2011-11-16 標簽:電子產(chǎn)品MEMS時鐘 849 0
模擬IC設計公司SiTime發(fā)表以矽MEMS技術取代石英振蕩器OCXO和TCXO的新產(chǎn)品,運用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術將各種頻率燒制成一顆IC,可減少...
橫跨多重電子應用領域、全球領先的半導體供應商、全球第一大消費電子和便攜設備MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器供應商意法半導體(STMicroelectroni...
意法半導體推出新款高性能、低功耗的數(shù)字MEMS麥克風。意法半導體MP34DT01拾音孔頂置麥克風采用3x4x1mm超小封裝,讓手機、平板電腦等消費電子設...
橫跨多重電子應用領域、全球第一大消費電子及便攜設備MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器供應商意法半導體(STMicroelectronics,簡稱ST;紐約證券...
在某種程度上, MEMS 可以看作CMOS集成電路的擴展。如果將CMOS比喻為人的大腦和神經(jīng)網(wǎng)絡,那么MEMS就是大腦智慧的手臂,為這信息系統(tǒng)提供了獲取...
MEMS封裝屬于后道工藝,成本往往占到整個MEMS元件的70~80%。與生產(chǎn)環(huán)節(jié)相比,封裝環(huán)節(jié)水平更能決定 MEMS 產(chǎn)品的競爭力。原因是:1)MEMS...
傳感器將各種物理信號轉(zhuǎn)化為電信號從而將汽車行駛的具體狀態(tài)傳送給電子控制單元來實現(xiàn)汽車控制。設計了基于 MEMS 技術和智能化信號調(diào)理的擴散硅壓力傳感器應...
MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的 MEMS 制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結(jié)構(gòu)...
2011-11-01 標簽:MEMS 1.3萬 0
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫,即微電子機械系統(tǒng)。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術是建立在微米/納米...
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