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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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模擬半導體公司SiTime Corporation今天推出業(yè)界性能最強的差分振蕩器,其頻率穩(wěn)定度達10PPM、相位抖動僅500飛秒(femtosecon...
研究報告稱中國政府抑制經(jīng)濟增長和控制通脹的行動,將導致中國2011年MEMS購買活動放緩。 今年中國政府在經(jīng)濟政策方面變得更加謹慎。鑒于全球經(jīng)濟增長速度...
2011-10-24 標簽:MEMS 908 0
半導體技術(shù)在摩爾定律上似乎走入了瓶頸期,而超越摩爾定律的新興技術(shù)卻受到了眾多公司的青睞,其中 MEMS 以無處不在的應用潛力攫取了業(yè)界大大小小公司的眼球...
ST采用硅通孔技術(shù)實現(xiàn)尺寸更小且更智能的MEMS芯片
意法半導體率先將硅通孔技術(shù)(TSV)引入MEMS芯片量產(chǎn)。在意法半導體的多片MEMS產(chǎn)品(如智能傳感器、多軸慣性模塊)內(nèi),硅通孔技術(shù)以垂直短線方式取代傳...
ST-Ericsson 稍早前宣布推出一款 Snowball 開發(fā)板,整合該公司的 Nova A9500 雙核心應用處理器、MEMS元件(3D陀螺儀、加...
2011-10-04 標簽:MEMSST-EricssonSnowball 1.3k 0
市場研究機構(gòu) ABI Research 預測,全球智能手機與平板裝置用 MEMS傳感器與音頻組件市場,將在 2016年達到15億美元規(guī)模。
國內(nèi)首條MEMS工藝平臺實現(xiàn)量產(chǎn)
“上海先進”(ASMC/上海先進半導體制造股份有限公司)在MEMS(微機電系統(tǒng))代工領域取得重大進展,在打造國內(nèi)MEMS工藝生產(chǎn)平臺的同時首條MEMS工...
2011-09-27 標簽:MEMS 1.4k 0
閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構(gòu)設計與驅(qū)動
基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為:平行的復合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上,驅(qū)動電路驅(qū)動...
MEMS醫(yī)療運動檢測系統(tǒng)挑戰(zhàn)研究
基于 MEMS 的系統(tǒng)可以顯著提高髖關(guān)節(jié)和膝關(guān)節(jié)植入體與病人骨骼結(jié)構(gòu)的對準精度,減輕不舒適感,從而避免進行修正手術(shù)。 本文將研究醫(yī)療導航應用的獨特挑戰(zhàn),...
多門類實用的MEMS演示樣品向早期產(chǎn)品演繹,可批量生產(chǎn)的微加速度計、力敏傳感器、微陀螺儀、數(shù)字微鏡器件、光開關(guān)等的商品化日趨成熟,初步形成100億美元的...
2011-09-20 標簽:MEMS 6.1k 0
據(jù)IHS公司的最新MEMS市場研究報告,由于市場對寬帶互聯(lián)網(wǎng)服務的需求持續(xù)激增,預計2011年以及隨后幾年光MEMS銷售額強勁增長。光MEMS是超高速光...
2011-09-15 標簽:MEMS 474 0
微機電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù),選擇條件是系統(tǒng)的應用、市場等等。
2011-09-13 標簽:MEMS微機電系統(tǒng) 2.9k 0
微機電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械...
2011-09-13 標簽:MEMS微機電系統(tǒng) 3.7k 0
微機電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械...
2011-09-13 標簽:MEMS微機電系統(tǒng) 5.1k 0
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