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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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2017-06-01 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)智能傳感器 786 0
2017-05-10 標(biāo)簽:mems監(jiān)測傳感器運(yùn)動傳感器 1.2k 0
MEMS閾值可調(diào)開關(guān)的仿真與實(shí)驗(yàn)分析_許馬會立即下載
2017-03-19 標(biāo)簽:MEMS閾值可調(diào)開關(guān) 709 0
MEMS高g值復(fù)合量程開關(guān)設(shè)計(jì)_李功立即下載
2017-03-19 標(biāo)簽:MEMS高g值量程開關(guān) 639 0
MEMS執(zhí)行機(jī)構(gòu)在微小力傳感器量值溯源中的應(yīng)用_徐立立即下載
2017-03-19 標(biāo)簽:MEMS執(zhí)行機(jī)構(gòu)微小力傳感器 837 0
基于MEMS和數(shù)字信號處理器的露點(diǎn)傳感器設(shè)計(jì)立即下載
2017-02-07 標(biāo)簽:MEMS數(shù)字信號露點(diǎn)傳感器 1k 0
MEMS加速度傳感器標(biāo)定測試采集系統(tǒng)的設(shè)計(jì)_于春華立即下載
2017-01-17 標(biāo)簽:MEMS采集系統(tǒng)加速度傳感器 1k 0
2017-01-22 標(biāo)簽:MEMS 506 0
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