MEMS傳感器在環(huán)境和工業(yè)應(yīng)用中帶來的創(chuàng)新和突破來自于在降低成本基礎(chǔ)上的廣泛使用。對(duì)于環(huán)境應(yīng)用而言，可以想象一下如果傳感器已經(jīng)存在于全世界億萬智能手機(jī)中，那么它們可用來采集和報(bào)告環(huán)境信息。當(dāng)使用MEMS器件的傳感器每節(jié)點(diǎn)成本繼續(xù)下降，勢(shì)必MEMS器件的工業(yè)應(yīng)用會(huì)增加。一個(gè)MEMS麥克風(fēng)加上一個(gè)MPU（微處理單元）和一個(gè)無線電通信線路，可以用于監(jiān)控大型電機(jī)或旋轉(zhuǎn)電機(jī)的噪音級(jí)別并對(duì)噪音進(jìn)行頻譜分析，當(dāng)感測(cè)到的聲音和頻譜特征出錯(cuò)或探測(cè)到其他問題，就會(huì)發(fā)出信號(hào)傳送到中央監(jiān)控站要求檢修。

　　由于價(jià)格相對(duì)較高，以及在汽車、工業(yè)及醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大，壓力傳感器有望成為銷售額最高的MEMS器件。由于補(bǔ)償水平、裸片校準(zhǔn)與封裝類型的不同，MEMS壓力傳感器的平均價(jià)格目前相差很大，面向高價(jià)值工業(yè)與醫(yī)療應(yīng)用的從幾美元到幾十美元不等，而面向飛機(jī)液壓系統(tǒng)或飛行數(shù)據(jù)測(cè)量等專業(yè)應(yīng)用的則高達(dá)幾百美元，包括在惡劣的介質(zhì)、溫度和壓力條件下的工業(yè)應(yīng)用組合。MEMS壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測(cè)。在工業(yè)領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)（HVAC）、水平面測(cè)量、各種工業(yè)過程與控制應(yīng)用。

　　MEMS最新發(fā)展集中在定時(shí)振蕩器

　　此外，污染和花粉探測(cè)正在成為環(huán)境傳感器的一個(gè)熱點(diǎn)話題，尤其是考慮到煙霧/過敏原在大城市呈現(xiàn)出高水平。在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，機(jī)器人將繼續(xù)推動(dòng)對(duì)越來越精密傳感器的需求。

　　飛思卡爾公司的孫淙也表示，MEMS器件正越來越多地應(yīng)用到環(huán)境和工業(yè)中，例如MEMS化學(xué)氣體和壓力傳感器，這將促進(jìn)檢測(cè)和傳感設(shè)備的小型化和便攜化，更方便于環(huán)境監(jiān)測(cè)和工業(yè)檢測(cè)。同時(shí)，預(yù)計(jì)采用MEMS傳感器的無線物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)也將越來越多地應(yīng)用于環(huán)境和工業(yè)領(lǐng)域。針對(duì)工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，飛思卡爾推出的MMA8491是一款低功耗的12位三軸加速度傳感器，逐秒采樣時(shí)運(yùn)行耗電低于400nA，關(guān)斷電流小于10nA。MMA8491非常適合于用于無線物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)，提供諸如設(shè)備追蹤，震動(dòng)以及傾斜檢測(cè)。MMA8491提供適用于高可靠性要求的工業(yè)領(lǐng)域的封裝外形。

　　ADI公司的ADXL377是業(yè)界首款商用高量程三軸加速度計(jì)。ADXL377可測(cè)量±200g滿量程范圍內(nèi)且無信號(hào)飽和情況下由沖擊和振動(dòng)引起的高沖擊事件的加速度。該測(cè)量范圍與可連續(xù)捕捉?jīng)_擊數(shù)據(jù)的模擬輸出相結(jié)合，使ADXL377成為接觸類運(yùn)動(dòng)的理想傳感器，可通過檢測(cè)沖擊力來了解創(chuàng)傷性腦損傷（TBI）指標(biāo)。

　　IDT公司MEMS部門總經(jīng)理Harmeet Bhugra的觀點(diǎn)是，MEMS技術(shù)的最新發(fā)展集中在振蕩器（定時(shí)參考）領(lǐng)域?！暗侥壳盀橹梗琈EMS僅在諸如手機(jī)傳感器這樣的消費(fèi)產(chǎn)品中獲得采用，下一階段的快速發(fā)展將圍繞定時(shí)振蕩器展開。MEMS振蕩器受到如高性能路由器、交換機(jī)和存儲(chǔ)集群這樣數(shù)據(jù)中心企業(yè)應(yīng)用的巨大推動(dòng)，性能已得到足夠提升?！盜DT公司針對(duì)云計(jì)算和企業(yè)應(yīng)用推出了計(jì)時(shí)振蕩器，其4H性能MEMS振蕩器具有100飛秒（fs）典型相位抖動(dòng)性能和集成的頻率裕量設(shè)定能力（圖3）。IDT高性能振蕩器的超低相位抖動(dòng)和可修改的輸出頻率顯著降低萬兆以太網(wǎng)（10GbE）交換器、路由器和其他相關(guān)網(wǎng)絡(luò)設(shè)備的誤碼率（BER）。

　　MEMS時(shí)鐘器件進(jìn)入手機(jī)市場(chǎng)

　　除了慣性傳感器，傳統(tǒng)的石英晶振也正在被硅MEMS器件取代，硅時(shí)鐘器件憑借標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體工藝和可高量產(chǎn)的塑殼封裝技術(shù)，使得時(shí)鐘晶振器件的交貨周期和供貨發(fā)生革命性變化，尺寸也更小?！澳壳俺霈F(xiàn)顯著增長(zhǎng)的一個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域是用MEMS時(shí)鐘芯片替代傳統(tǒng)石英時(shí)鐘，這能夠?yàn)橛脩魩砀叩男阅?、靈活性、可靠性，更小的元件尺寸和更低的功耗。”SiTime公司市場(chǎng)營(yíng)銷執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia談到。他認(rèn)為，在今后兩年內(nèi)，MEMS時(shí)鐘在各種應(yīng)用中的普及將會(huì)推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)的增長(zhǎng)。面向MEMS時(shí)鐘的新應(yīng)用包括智能手機(jī)、平板電腦、數(shù)碼相機(jī)、運(yùn)動(dòng)健身器材（如手表），醫(yī)療健康設(shè)備（血壓計(jì)、血糖檢測(cè)儀等）、電子配件（如MP3、耳機(jī)）以及計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備（無線鼠標(biāo)、觸控板等）。

　　SiTime的MEMS時(shí)鐘器件包括振蕩器，諧振器和時(shí)鐘發(fā)生器已在各類消費(fèi)和移動(dòng)電子產(chǎn)品中被廣泛采納。此外，SiTime元件具有可編程的功能，為用戶提供了極強(qiáng)的靈活性和新功能，如頻率精度達(dá)到小數(shù)點(diǎn)6位。SiTime的硅MEMS時(shí)種器件由低功耗MEMS與可編程的模擬電路集成，采用完全的硅制程工藝。繼推出針對(duì)系統(tǒng)設(shè)備、工業(yè)控制和消費(fèi)電子的高端硅MEMS后，SiTime公司最新的SiT15xx系列32kHz MEMS振蕩器（圖4）以多種方式克服了基于石英器件的限制，占位面積減小了85%，功耗降低了50%，可靠性提高了15倍，所有這些都有助于實(shí)現(xiàn)體積更小、功耗更低和更耐用的移動(dòng)電子產(chǎn)品。此外，各種醫(yī)療健身器件和目前非常熱門的各種智能配帶式產(chǎn)品如智能手表、智能眼鏡等等也非常適合使用硅MEMS時(shí)鐘振蕩器。