納米級(jí)測(cè)量用的有哪些儀器？
白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡同為微納米級(jí)表面光學(xué)分析儀器，都具有非接觸式、高速度測(cè)量、高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能，適用范圍廣，可測(cè)多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)。
VT6000共聚焦顯微鏡白光干涉儀多用于測(cè)量大范圍光滑的樣品，尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè)，追求檢測(cè)數(shù)值的準(zhǔn)確；（SuperViewW1白光干涉儀測(cè)量行程有140*100*100㎜，對(duì)于測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域表面情況，還可以使用自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能。拼接測(cè)量功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測(cè)量，就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。）
超光滑透鏡測(cè)量
自動(dòng)拼接功能
大尺寸樣品拼接測(cè)量
而共聚焦顯微鏡更容易測(cè)陡峭邊緣，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，雖在檢測(cè)分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。
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