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一臺(tái)智能手機(jī)里有50—200個(gè)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器；一臺(tái)智能汽車(chē)?yán)镏辽儆?00個(gè)MEMS傳感器，它們占其單車(chē)成本約1/5-1/10。在MEMS技術(shù)的加持下，智能微系統(tǒng)甚至能搭建出模擬人體肺部的“芯片肺”、基于人類(lèi)誘導(dǎo)多能干細(xì)胞的心臟微系統(tǒng)“片上心臟”、各種“片上器官”組成的“片上人體”……

10月19日，2024東湖論壇的22場(chǎng)平行論壇之一、微機(jī)電（MEMS）技術(shù)創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇舉行，尤政、劉勝、劉明、房建成等四位院士圍繞“智能傳感 智領(lǐng)未來(lái)”作主旨報(bào)告，描繪好似科幻片的未來(lái)圖景，為推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展建言獻(xiàn)策；來(lái)自航空航天、船舶、軌道交通、汽車(chē)制造、新能源、冶金等領(lǐng)域的企業(yè)精英及專家學(xué)者開(kāi)展研討交流，共謀MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、特色化、高端化發(fā)展。

MEMS集微傳感器、微執(zhí)行器和微能源等形成獨(dú)立智能系統(tǒng)，融合微電子技術(shù)和微機(jī)械技術(shù)，演化而成新興產(chǎn)業(yè)。MEMS制造技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車(chē)、生物醫(yī)療、消費(fèi)電子等領(lǐng)域，對(duì)我國(guó)關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)、經(jīng)濟(jì)發(fā)展與國(guó)防安全至關(guān)重要。此次論壇備受關(guān)注，其目的是為MEMS產(chǎn)業(yè)在技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用拓展方面培養(yǎng)創(chuàng)新人才，加快全行業(yè)快速發(fā)展，促進(jìn)形成新質(zhì)生產(chǎn)力，推動(dòng)傳感器產(chǎn)業(yè)集聚，構(gòu)建高質(zhì)量產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈提供助力。

《芯片推動(dòng)系統(tǒng)技術(shù)進(jìn)步，系統(tǒng)引領(lǐng)芯片技術(shù)創(chuàng)新——微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展的思考》《集成電路技術(shù)：挑戰(zhàn)與機(jī)遇》《量子精密磁場(chǎng)測(cè)量：從科學(xué)裝置到計(jì)量?jī)x器、再到芯片化傳感器的研究探索》《MEMS傳感器芯片先進(jìn)封裝測(cè)試平臺(tái)》……作為行業(yè)領(lǐng)軍人物，院士們分享了最前沿資訊和團(tuán)隊(duì)最新成果。在他們的發(fā)言中，“卡脖子”三個(gè)字頻頻出現(xiàn)。

“我國(guó)在產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)仍然存在較大差距！”中國(guó)工程院院士、華中科技大學(xué)校長(zhǎng)尤政是智能微系統(tǒng)技術(shù)及其應(yīng)用研究領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物，他介紹，傳感器被稱為“工業(yè)基石”，是各類(lèi)產(chǎn)業(yè)賴以生存和發(fā)展的基礎(chǔ)，直接決定重大裝備和整機(jī)產(chǎn)品的性能、質(zhì)量；基于微系統(tǒng)技術(shù)與MEMS技術(shù)的智能傳感器，必將成為構(gòu)筑未來(lái)智能社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施、工業(yè)基礎(chǔ)支撐體系、各類(lèi)裝備產(chǎn)品的關(guān)鍵。目前，我國(guó)微系統(tǒng)與智能傳感器領(lǐng)域的核心關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展滯后，在中高端市場(chǎng)上，超過(guò)60%的市場(chǎng)份額被國(guó)外愛(ài)默生、西門(mén)子、博世、意法半導(dǎo)體、霍尼韋爾等外國(guó)巨頭占據(jù)，特別是高端產(chǎn)品幾乎全靠進(jìn)口，80%的傳感器芯片依賴國(guó)外。

如何改變當(dāng)前的面貌？院士們提出，首先要關(guān)注“產(chǎn)教融合”，使人才培養(yǎng)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展深度關(guān)聯(lián)融合；其次要強(qiáng)化協(xié)同創(chuàng)新，對(duì)這一投資密集、產(chǎn)品應(yīng)用廣、產(chǎn)業(yè)分散的行業(yè)來(lái)說(shuō)，急需政府、企業(yè)、高校、科研院所、用戶、金融機(jī)構(gòu)等各創(chuàng)新要素被納入統(tǒng)籌規(guī)劃，做到合理布局、協(xié)同創(chuàng)新，并通過(guò)公共研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和共性技術(shù)開(kāi)發(fā)與共享機(jī)制，來(lái)實(shí)現(xiàn)行業(yè)的高效運(yùn)行；最后要加大示范應(yīng)用，可以圍繞國(guó)家的重大工程任務(wù)、國(guó)家亟需的重要戰(zhàn)略裝備以及有代表性的社會(huì)經(jīng)濟(jì)生活需求，有組織地開(kāi)展創(chuàng)新，體現(xiàn)新型舉國(guó)體制的優(yōu)勢(shì)，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)集聚，形成生態(tài)鏈。

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