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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù),廣泛應用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領(lǐng)域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
?X-STM32MP-MSP01 多傳感器擴展板技術(shù)摘要
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ST又一新品力作,LSM6DSV320X傳感器,并且得到STEVAL-MKI109D主板的支持,使用配套的上位機可以實現(xiàn)豐富的產(chǎn)品體驗和開發(fā)輔助。本文主...
?Microchip DSA61xx MEMS振蕩器技術(shù)解析:汽車電子時鐘方案的革新選擇
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?Microchip DSA60XX MEMS振蕩器技術(shù)解析與應用指南
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Microchip DSC12X2/3/4高性能差分MEMS振蕩器技術(shù)解析
Microchip Technology DSC12X2/3/4標準時鐘振蕩器采用 硅MEMS技術(shù)來降低近端噪聲,并提供出色的抖動性能。該振蕩器可在寬電...
HV56266高電壓運算放大器的技術(shù)解析與應用指南
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MEMS矢量水聽器敏感結(jié)構(gòu)的后CMOS釋放工藝研究立即下載
類別:模擬數(shù)字論文 2025-07-24 標簽:半導體mems
高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標簽:mems速度計
ADIS16470微型MEMS慣性測量單元(IMU)英文手冊立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標簽:adimems微機電系統(tǒng)
Pickering 新型基于MEMS技術(shù)的多端口千兆以太網(wǎng)接口單元(GBASE-T1 FIU),顯著提升了測試系統(tǒng)的帶寬、數(shù)據(jù)吞吐
迄今為止, Pickering 公司推出的帶寬最高的故障注入裝置采用微機電系統(tǒng)( MEMS )開關(guān)技術(shù),實現(xiàn)了高速、穩(wěn)定的信號切換以及優(yōu)異的長期使用壽命...
2025-10-22 標簽:開關(guān)mems以太網(wǎng)接口 126 0
四川大學:協(xié)同離子-電子傳輸應變傳感器實現(xiàn)寬工作范圍內(nèi)超高且可調(diào)靈敏度
一、 ?研究介紹 近日,四川大學機械工程學院MEMS團隊在柔性可穿戴傳感器件領(lǐng)域取得重要進展,提出了一種基于離子-電子傳輸通道協(xié)同機制的應變傳感器,通過...
院士團隊最新綜述:MEMS技術(shù)在具身智能機器人中應用的現(xiàn)狀與挑戰(zhàn)
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一切始于一個大膽的構(gòu)想與一枚微型芯片。2005 年,Bosch Sensortec 由一支擁有深厚技術(shù)背景的小型團隊創(chuàng)立,懷揣著讓 MEMS 傳感器在消...
MEMS 工藝賦能,石英諧振壓力傳感器邁向微型化與低成本時代
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50.6億!中國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線,正式投產(chǎn)
近日,由中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司(以下簡稱“中電二公司”)承建的中國蚌埠傳感谷8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線EPC項目迎來重要里程碑——首批產(chǎn)品成功下...
在智能語音交互爆發(fā)式增長的今天, 微型麥克風的性能直接決定了設(shè)備的聽覺神經(jīng)是否靈敏 。感芯科技通過突破性MEMS技術(shù),將原本僅存在于專業(yè)錄音棚的聲音捕捉...
深耕MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈,匯聚50+大咖力量,聚焦5大前沿主題,引爆智造浪潮!
自2009年起, 中國MEMS制造大會 已連續(xù)成功舉辦五屆,累計邀請 Bosch、ST、TDK、ADI、EVG、ULVAC、歌爾微電子、華潤微電子、敏芯...
2025-10-13 標簽:mems 397 0
瑞之辰小尺寸金屬封裝壓力傳感器:加速國產(chǎn)化替代進程
說到我國MEMS(微機電系統(tǒng))產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在起步階段與國外差距并不明顯,已初步構(gòu)建起設(shè)計、加工、封裝、測試的一條龍體系。然而,受歷史因素導致的條塊分割、...
型號 | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊 | 參考價格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風 MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價格
|
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