近日，江蘇省召開了全省科技大會(huì)暨科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)，公布了2023年度江蘇省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。由敏芯股份、東南大學(xué)以及中國電子科技集團(tuán)共同完成的“高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲江蘇省科學(xué)技術(shù)三等獎(jiǎng)。

江蘇省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)由省人民政府設(shè)立，是江蘇省科技領(lǐng)域的最高獎(jiǎng)項(xiàng)，主要獎(jiǎng)勵(lì)在技術(shù)發(fā)明、技術(shù)開發(fā)、重大工程建設(shè)、科學(xué)技術(shù)成果推廣轉(zhuǎn)化、高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化、社會(huì)公益等方面取得顯著經(jīng)濟(jì)效益或社會(huì)效益的科技項(xiàng)目，每一項(xiàng)獲獎(jiǎng)成果都代表了其所在領(lǐng)域的頂尖水平。

MEMS傳感器具有體積小、功耗低、一致性高、成本低等特點(diǎn)，為智能設(shè)備的發(fā)展奠定了重要的技術(shù)基礎(chǔ)。國家“十三五”規(guī)劃提出制造強(qiáng)國戰(zhàn)略，“十四五”規(guī)劃正式提出打造數(shù)字經(jīng)濟(jì)新優(yōu)勢(shì)，MEMS傳感器作為“卡脖子”領(lǐng)域的核心技術(shù)，對(duì)于數(shù)字經(jīng)濟(jì)的推動(dòng)作用愈發(fā)重要。

高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器代表了MEMS技術(shù)在慣性傳感領(lǐng)域的最新發(fā)展成果，這種技術(shù)革新提高了傳感器的性能并降低了生產(chǎn)成本。其采用諧振式工作原理，結(jié)合硅基材料的高精度加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)物體運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的高精度感知和測(cè)量，在無人機(jī)、電動(dòng)汽車、智能機(jī)器人等需要高精度導(dǎo)航和姿態(tài)控制的領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

本項(xiàng)目突破了高性能MEMS慣性傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、多回路全閉環(huán)式低噪聲測(cè)控電路、傳感器先進(jìn)封裝技術(shù)、慣性測(cè)量誤差在線自補(bǔ)償技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，自主研制成功高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器。

此次獲獎(jiǎng)不僅是對(duì)創(chuàng)新成果的肯定，更是對(duì)未來的期許與鞭策，公司將繼續(xù)堅(jiān)持創(chuàng)新戰(zhàn)略，向高精度、集成化、多領(lǐng)域發(fā)展，加大科研投入，強(qiáng)化技術(shù)壁壘，攻克關(guān)鍵難題，為客戶提供更多高性能傳感器產(chǎn)品。