MFC(Mass Flow Controller)質量流量控制器,不但具有質量流量計-MFM（Mass Flow Meter）的功能，更關鍵的是它能自動控制氣體流量。具體而言，用戶可根據實際需求設定目標流量值，MFC質量流量控制器（也常被稱作流量計）會自動將流量精準維持在該設定值上。即便面臨系統(tǒng)壓力波動或環(huán)境溫度變化等情況，它也能確保流量穩(wěn)定在設定值，不會出現偏離。簡而言之，質量流量控制器是一種可實現穩(wěn)流功能的裝置，既支持手動設定流量，也能與計算機連接實現自動控制，是氣體穩(wěn)流領域的常用設備。

（注：圖片來源于網絡）

MFC質量流量控制器工作原理

質量流量控制器（MFC）的核心是集成傳感、信號處理與控制部分的復合系統(tǒng)：當氣體流經通道時，其傳感器模塊通過流動介質測定相應的參數數據，檢測元件將參數信號轉換為電信號后，控制器將該信號與預設流量對應的理論值進行實時比對，通過動態(tài)調節(jié)元件再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，實現了閉環(huán)控制流過通道的流量，使之與設定的流量相等。這種閉環(huán)控制機制既能通過相關參數數據解算實際流量，又能通過功率反饋實現設定值的控制精度，最終達成氣體質量流量的高穩(wěn)定性調控。

（示意圖）

MFC質量流量控制器的舞臺：從納米實驗室到工業(yè)巨人

01半導體制造領域

在晶圓加工過程中，MFC質量流量控制器精確控制著多種反應氣體的流量，保障薄膜沉積（CVD/PVD）、刻蝕工藝、離子注入、清洗等工藝的穩(wěn)定性。（一片價值數萬元的晶圓，其成敗往往取決于氣體流量的精準控制。）

（注：圖片來源于網絡）

02新能源與燃料電池

在鋰電池生產中，MFC質量流量控制器控制氮氣吹掃流量，防止水分侵入注液車間，保障制備流程的干燥氣氛。在氫燃料電池生產中，MFC質量流量控制器精確調節(jié)電解水制氫設備的氣體流量和精準控制氫燃料電池堆的氣體供給，優(yōu)化電化學反應效率。

（注：圖片來源于網絡）

03科研與實驗室

在實驗室、研究所的基礎實驗中，MFC質量流量控制器協助實驗室氣體配比器實現多組分氣體的動態(tài)混合。在進行材料研發(fā)時，例如納米材料石墨烯的制備，MFC質量流量控制器控制甲烷的流量從而調節(jié)生長速率等等。作為氣相色譜儀、質譜儀等精密儀器的“氣體脈搏調節(jié)器”，MFC質量流量控制器幫助這些設備控制精確的氣體流量，確保分析結果的準確性。

（MFC實現多組分氣體動態(tài)混合-示意圖）

（注：圖片來源于網絡）

04環(huán)境監(jiān)測

在環(huán)保領域中，MFC質量流量控制器廣泛適用于空氣質量監(jiān)測系統(tǒng)中空氣量的計量、顆粒物大氣采樣儀中流量的校準、氣體分析儀和動態(tài)氣體校準儀等的流量控制等場景，能夠很好解決大氣監(jiān)測過程中對空氣量精確計量和控制的問題。例如：在廢氣處理時，通過MFC質量流量控制器監(jiān)測VOCs的濃度并且調節(jié)稀釋氣體流量，可以確保在線監(jiān)測的準確性。

（注：圖片來源于網絡）

05生物工程與生命科學

在以生命科學為基礎的生物技術產業(yè)中，生物工程、制藥和醫(yī)療設備，都需要可靠和準確的儀器來最大限度地提高產量和控制過程。MFC質量流量控制器可實現重復性和長期穩(wěn)定性，確保在研發(fā)、生物反應器、發(fā)酵罐以及醫(yī)療應用中提供最優(yōu)的氣體測量和控制精度。例如：生物發(fā)酵時，MFC質量流量控制器精確控制微生物培養(yǎng)過程中氧氣、二氧化碳的供給，優(yōu)化菌體生長效率；醫(yī)療氣體混合時，MFC質量流量控制器負責麻醉機、呼吸機、制氧機中的多氣體比例調節(jié)，確保吸入濃度安全準確；微生物、細胞培養(yǎng)過程中，MFC質量流量控制器控制各類氣體的定量供給以維持培養(yǎng)液的pH值等等。

（注：圖片來源于網絡）

在半導體制造車間內，一粒塵埃大小的誤差可能導致整片晶圓作廢；在燃料電池實驗室中，氫氧比例0.1%的偏差可能會顯著降低能量轉化效率；在醫(yī)療設備生產線上，氣體流量的微小差別也可能決定著患者的生命安全。這些場景的核心共同點，是對氣體質量流量控制器（MFC）極致精度的追求。

芯明天金屬密封型壓電促動器：MFC質量流量控制器的精度革命

面對高端制造業(yè)對MFC質量流量控制器精度和響應速度的極致要求，傳統(tǒng)技術已接近瓶頸。在這一背景下，壓電陶瓷技術為MFC質量流量控制器帶來了革命性突破。

壓電陶瓷促動器的優(yōu)勢：

納秒級響應：超快響應速度，比傳統(tǒng)閥門快數十倍以上；

亞微米級定位精度：實現閥門開度的納米級控制，大幅提升流量調節(jié)精度；

零功耗保持：在穩(wěn)定狀態(tài)下幾乎不消耗電能，節(jié)能效果顯著；

無電磁干擾：避免傳統(tǒng)閥門可能產生的磁場干擾問題。

芯明天金屬密封型壓電促動器

金屬密封型壓電促動器因外殼做了全密封，實現了與大氣環(huán)境的絕緣，進而受環(huán)境濕度影響較小，具有更長的使用壽命和更高性能，非常適用于需要高可靠性的半導體器件制造設備和光通信設備等。

產品特點

·高可靠性：在85℃和100V下可實現MTTF=36000小時

·精確的納米定位

·機械磨損最小化

·工作溫度：-25℃~+85℃或-40℃~+150℃

·出力最大可達：3600N

·驅動電壓：0~150V

·內置預加載機構和安裝附件，便于安裝到設備中

注：MTTF（Mean Time To Failures）為平均失效前時間。

型號舉例

H550C801WD1-A0LF是芯明天金屬密封型壓電促動器的眾多型號之一，它的行程可達55μm，出力可達800N，高標準的性能使其非常適用于流體流量控制閥的驅動，滿足流體流量控制閥對驅動部件高可靠性和高精度的要求。（另有多款型號可供選擇，并且支持參數定制）

技術參數

尺寸圖

審核編輯 黃宇