在智能傳感技術(shù)飛速發(fā)展的今天，適度視場(chǎng)角設(shè)計(jì)讓MEMS傳感器在精準(zhǔn)感知與環(huán)境適應(yīng)性間找到了完美平衡，成為多種智能應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器結(jié)合了微電子與微機(jī)械技術(shù)，能夠?qū)⑼饨缥锢?a target="_blank">信號(hào)轉(zhuǎn)化為可處理的電信號(hào)。在智能傳感領(lǐng)域，120度的MEMS傳感器實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)感知與環(huán)境適應(yīng)性的理想平衡。這一角度比窄視角傳感器提供更全面的空間覆蓋，非常適合中距離高精度探測(cè)需求。

奧迪威MEMS傳感器的技術(shù)創(chuàng)新

奧迪威作為傳感技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè)，其MEMS傳感器產(chǎn)品體現(xiàn)了多項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新。該公司開發(fā)的MEMS超聲波傳感器采用PMUT（壓電微機(jī)械超聲波傳感器）技術(shù)，將壓電薄膜作為功能薄膜與硅基MEMS相集成。

這種技術(shù)路線選擇了高性能壓電功能薄膜與硅基MEMS異質(zhì)集成的新路徑，實(shí)現(xiàn)了單個(gè)芯片兼具超聲波發(fā)射與接收功能。

奧迪威傳感器的小型化設(shè)計(jì)令人印象深刻。其AW101型號(hào)封裝尺寸僅為4.2*4.5*2mm，幾乎只有傳統(tǒng)傳感器體積的十分之一。

這種緊湊設(shè)計(jì)得益于先進(jìn)的MEMS微納工藝制造技術(shù)，包括薄膜生長(zhǎng)、刻蝕和一體化封裝等工藝。小尺寸特性使得傳感器可以隱蔽安裝在汽車內(nèi)飾中，不影響車輛整體美觀。

產(chǎn)品還具有卓越的可靠性和環(huán)境適應(yīng)性。AW101傳感器具備IP67防護(hù)等級(jí)，能夠抵御灰塵和水的侵入，適用于室內(nèi)外工業(yè)等多種復(fù)雜環(huán)境。這種可靠性來源于全自動(dòng)生產(chǎn)工藝和封裝測(cè)試流程，保證了產(chǎn)品的一致性和穩(wěn)定性。

奧迪威MEMS傳感器的科學(xué)原理與性能表現(xiàn)

奧迪威MEMS傳感器的工作原理基于壓電效應(yīng)和超聲波傳播理論。當(dāng)電壓施加于壓電薄膜時(shí)，會(huì)產(chǎn)生機(jī)械變形發(fā)射超聲波；接收回聲時(shí)，聲壓會(huì)使壓電材料產(chǎn)生電荷，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。

傳感器在5V工作電壓下，聲壓可達(dá)98dB以上，具備良好的信噪比特性。

這種靈活性源于創(chuàng)新的晶圓級(jí)MEMS微納工藝，通過調(diào)整微陣列的布局和指向性，可以實(shí)現(xiàn)不同輻射特性的傳感器型號(hào)。120度視場(chǎng)角版本正是在這種技術(shù)基礎(chǔ)上優(yōu)化而來，平衡了覆蓋范圍和探測(cè)精度。

奧迪威傳感器還支持陣列化多頻工作模式。由于超小尺寸和一致性高等特點(diǎn)，AW101傳感器可以在狹小空間內(nèi)設(shè)置多頻率陣列（如雙頻率陣列），為應(yīng)用整機(jī)提供可重構(gòu)工作模式。這一特性使單個(gè)傳感器能夠適應(yīng)多種探測(cè)場(chǎng)景，提升了應(yīng)用靈活性。

實(shí)際應(yīng)用與性能表現(xiàn)

在兒童遺留檢測(cè)（CPD）系統(tǒng)中，奧迪威MEMS傳感器展現(xiàn)了卓越性能。CPD系統(tǒng)通過傳感器對(duì)周期性和非周期性的超聲波發(fā)射及接收，提取回波信號(hào)的特征，識(shí)別其中的信號(hào)擾動(dòng)，從而判別車內(nèi)人或動(dòng)物的微動(dòng)狀態(tài)。

測(cè)試結(jié)果表明，基于MEMS超聲波傳感器的CPD系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)呼吸級(jí)別的精細(xì)探測(cè)，完全符合Euro NCAP法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)。傳感器探測(cè)距離超過1米，探測(cè)視場(chǎng)達(dá)到120度，能夠全方位覆蓋車內(nèi)空間。

傳感器的小尺寸特性為安裝提供了極大便利。CPD應(yīng)用功能的奧迪威MEMS傳感器安裝孔徑僅為2.2mm，可以實(shí)現(xiàn)隱藏式安裝，大程度保持汽車內(nèi)飾設(shè)計(jì)完整度和美觀度。這一優(yōu)勢(shì)使得汽車制造商無需為了功能犧牲設(shè)計(jì)，促進(jìn)了技術(shù)的普及應(yīng)用。

技術(shù)前景與發(fā)展方向

MEMS傳感器技術(shù)仍在不斷發(fā)展演進(jìn)。未來，隨著人工智能技術(shù)的融合，MEMS傳感器將具備更強(qiáng)大的信號(hào)處理和識(shí)別能力。

奧迪威正在致力于研發(fā)創(chuàng)新，突破技術(shù)瓶頸，為智能汽車的發(fā)展注入強(qiáng)大動(dòng)力。更高集成度是另一個(gè)發(fā)展方向。目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)的單芯片收發(fā)一體化設(shè)計(jì)將進(jìn)一步發(fā)展，可能會(huì)集成更多的信號(hào)處理功能和智能算法，形成更加自主的傳感系統(tǒng)。新材料和新工藝的應(yīng)用也將推動(dòng)MEMS傳感器性能提升。新型壓電材料、納米級(jí)加工工藝和異質(zhì)集成技術(shù)將為傳感器帶來更高的靈敏度、更低的功耗和更好的溫度穩(wěn)定性。