氣密性檢測(cè)儀的核心原理在于通過(guò)監(jiān)測(cè)與氣體質(zhì)量變化相關(guān)的物理量（壓力或直接流量）來(lái)評(píng)估產(chǎn)品的密封性。主要分為壓力衰減法、差壓法和質(zhì)量流量法。

核心檢測(cè)原理

1.壓力衰減法

物理原理：基于理想氣體狀態(tài)方程（PV=nRT）。在溫度（T）和體積（V）恒定的封閉系統(tǒng)中，氣體質(zhì)量（n）的減少將導(dǎo)致壓力（P）線性下降。

工作流程：充氣 → 穩(wěn)壓 → 監(jiān)測(cè)壓力下降值（ΔP）→ 計(jì)算泄漏率。

泄漏率計(jì)算：( Q =ΔP.V/t)（其中Q為泄漏率，V為容積，t為檢測(cè)時(shí)間）

2.差壓法

物理原理：壓力衰減法的升級(jí)版。通過(guò)引入一個(gè)密封的“參考容腔”，與被測(cè)工件同時(shí)充入相同壓力，并監(jiān)測(cè)兩者之間的壓力差（ΔP_diff）。此方法能極大抵消溫度變化、彈性變形等共同干擾，精度更高。

工作流程：工件與參考容腔同時(shí)充氣 → 平衡 → 監(jiān)測(cè)壓力差（ΔP_diff）→ 計(jì)算泄漏率。

3.質(zhì)量流量法

質(zhì)量流量法是原理上不同于壓力法的另一種高精度、直接測(cè)量的方法。

物理原理：

儀器內(nèi)部集成了一個(gè)質(zhì)量流量傳感器。該傳感器的工作原理通常是通過(guò)對(duì)傳感元件（如鉑電阻）加熱，并測(cè)量因氣體流動(dòng)（帶走熱量）而產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化或維持溫度恒定所需的補(bǔ)償功率。這個(gè)功率值與氣體的質(zhì)量流量直接成正比。

在測(cè)試時(shí)，儀器持續(xù)向被測(cè)工件充氣以維持一個(gè)恒定的目標(biāo)壓力。如果工件存在泄漏，為了維持壓力恒定，系統(tǒng)就必須持續(xù)向工件內(nèi)補(bǔ)充氣體。這個(gè)補(bǔ)充氣體的流量，就等于工件的泄漏流量。

工作流程：

1、充氣與穩(wěn)壓：向工件充氣至目標(biāo)測(cè)試壓力。

2、動(dòng)態(tài)補(bǔ)償與測(cè)量：系統(tǒng)進(jìn)入檢測(cè)階段。壓力控制器會(huì)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，以維持壓力恒定。同時(shí)，質(zhì)量流量傳感器直接讀取為補(bǔ)償泄漏而注入的氣體流量值。

3、判斷：將穩(wěn)定后讀取的瞬時(shí)流量值（或一段時(shí)間內(nèi)的平均流量值）與設(shè)定的流量閾值進(jìn)行比較。若實(shí)測(cè)流量大于閾值，則為不合格。

總結(jié)：

簡(jiǎn)而言之：壓力法是“觀察壓力自然下降”，而流量法是“主動(dòng)補(bǔ)充氣體維持壓力，并測(cè)量補(bǔ)充量”。壓力法是通過(guò)檢測(cè)“壓力降”來(lái)間接推算泄漏率。流量法是通過(guò)直接測(cè)量“補(bǔ)充流量”來(lái)直接讀取泄漏率。選擇哪種方法取決于具體應(yīng)用場(chǎng)景、測(cè)試節(jié)拍要求、工件特性以及泄漏率量綱的偏好。在現(xiàn)代高端氣密性檢測(cè)儀中，通常集成了多種測(cè)試方法，用戶可根據(jù)需求靈活選擇和切換。