動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-10-20 18:04
橢偏儀表征薄膜非晶相 | 精準(zhǔn)分析不同襯底溫度下氫化非晶氧化硅(i-a-SiO?:H)薄膜的光學(xué)性質(zhì)與結(jié)構(gòu)
本征氫化非晶氧化硅（i-a-SiO?:H）是a-Si:H/c-Si異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池的重要鈍化材料，兼具PECVD低溫沉積、帶隙寬等優(yōu)勢(shì)，但i-a-SiO?:H鈍化性能與制備工藝、儀器密切相關(guān)；目前室溫（25℃）下在n型直拉單晶硅（n-Cz-Si）表面沉積i-a-SiO?:H時(shí)，硅片少子壽命極低，鈍化效果差，且襯底溫度對(duì)其鈍化性能的影響尚不明確；Flexfilm330瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-10-17 18:03
臺(tái)階儀在表面計(jì)量學(xué)的應(yīng)用：基于表面紋理最大高度S±3σ的表征研究
表面形貌的平均高度與最大幅度直接影響零部件的使用功能。工業(yè)中常通過(guò)二維輪廓測(cè)量獲取相關(guān)參數(shù)，但輪廓最大高度存在較大波動(dòng)性。Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表面臺(tái)階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。本研究提出基于三維面掃描測(cè)量結(jié)果，通過(guò)將表面最大高度修正至材料比率0.13%-99 -
發(fā)布了文章 2025-10-15 18:04
橢偏儀在精密薄膜中的應(yīng)用：基于單驅(qū)動(dòng)變角結(jié)構(gòu)的高重復(fù)性精度控制系統(tǒng)
橢偏測(cè)試技術(shù)具有非接觸、高靈敏、無(wú)樣品破壞優(yōu)勢(shì)，廣義橢偏儀因可測(cè)各向同性與異性樣品成研究熱點(diǎn)，但需變角結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)多角度測(cè)量。當(dāng)前立式橢偏儀存在雙電機(jī)配合難或裝配精度高問(wèn)題，臥式橢偏儀光路不易對(duì)準(zhǔn)，且缺乏低成本、高集成度且精確變角控制的方案。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對(duì)薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。本文提70瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-10-13 18:04
臺(tái)階儀在多鍍層膜厚中的應(yīng)用：基于單基體多膜標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)0.5%高精度測(cè)量
表面涂覆技術(shù)是現(xiàn)代制造業(yè)的關(guān)鍵工藝，鍍層厚度是其核心質(zhì)量指標(biāo)。目前，單鍍層厚度測(cè)量技術(shù)已較為成熟，但多鍍層厚度標(biāo)準(zhǔn)仍存在溯源精度低、量值不統(tǒng)一等問(wèn)題。Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表面臺(tái)階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。本研究基于真空鍍膜技術(shù)和單鍍層溯源方法，成功研制出單基 -
發(fā)布了文章 2025-10-10 18:05
橢偏儀常見技術(shù)問(wèn)題解答（二）
橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，通過(guò)探測(cè)偏振光與樣品相互作用后偏振態(tài)的變化，獲取材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對(duì)薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。1光譜橢偏法如何測(cè)定折射率?flexfilmΨ的振蕩具有特定的振幅除了厚度信息，數(shù)據(jù)振蕩的形狀取決于薄膜的折射率。Ψ的振蕩曲線103瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-09-29 18:05
臺(tái)階儀/橢偏儀在不同半導(dǎo)體關(guān)鍵工序中的計(jì)量技術(shù)與應(yīng)用
隨著半導(dǎo)體技術(shù)向高集成度與高性能方向不斷發(fā)展，工藝尺寸持續(xù)縮小，制造工藝對(duì)膜厚、線寬、臺(tái)階高度及電阻率等關(guān)鍵參數(shù)的測(cè)量精度提出了更高要求。然而，半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中面臨量值溯源體系不完善、測(cè)量結(jié)果不一致等突出問(wèn)題，直接影響工藝控制的準(zhǔn)確性與器件性能的可靠性。Flexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表 -
發(fā)布了文章 2025-09-26 18:04
橢偏儀常見技術(shù)問(wèn)題解答（一）
橢偏儀是一種基于橢圓偏振分析的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，通過(guò)探測(cè)偏振光與樣品相互作用后偏振態(tài)的變化，獲取材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對(duì)薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應(yīng)用于薄膜材料、半導(dǎo)體和表面科學(xué)等領(lǐng)域。1橢偏儀測(cè)量什么?flexfilm橢偏儀利用偏振光來(lái)表征薄膜和塊體材料。當(dāng)光與樣品結(jié)構(gòu)相互作用時(shí)，其偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化。測(cè)量結(jié)370瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-09-24 18:02
汽車玻璃可見光透射率VLT標(biāo)準(zhǔn)70%：關(guān)乎道路安全的關(guān)鍵指標(biāo)
在國(guó)際窗膜協(xié)會(huì)澳大利亞分會(huì)（IWFAA）的持續(xù)游說(shuō)下，澳大利亞多地已允許將汽車前側(cè)窗的可見光透射率（VLT）標(biāo)準(zhǔn)從70%降至35%，以期實(shí)現(xiàn)全國(guó)規(guī)范統(tǒng)一。然而，這一提議引發(fā)了重要的道路安全隱患：前側(cè)窗作為駕駛員觀察側(cè)向交通、識(shí)別行人及騎行者的關(guān)鍵視覺通道，其透光率的大幅降低將直接削弱在夜間、低光照或復(fù)雜路況下的視覺識(shí)別能力。Flexfilm汽車玻璃透過(guò)率檢測(cè) -
發(fā)布了文章 2025-09-22 18:05
從數(shù)據(jù)到模型：臺(tái)階儀如何實(shí)現(xiàn)高精度微結(jié)構(gòu)測(cè)量
為解決臺(tái)階儀在微結(jié)構(gòu)測(cè)量中的點(diǎn)云配準(zhǔn)精度不足、系統(tǒng)誤差難補(bǔ)償及傳統(tǒng)校準(zhǔn)離散、導(dǎo)軌誤差大等問(wèn)題，費(fèi)曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測(cè)量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺(tái)階儀可以實(shí)現(xiàn)表面微觀特征的精準(zhǔn)表征與關(guān)鍵參數(shù)的定量測(cè)量，精確測(cè)定樣品的表面臺(tái)階高度與膜厚，為材料質(zhì)量把控和生產(chǎn)效率提升提供數(shù)據(jù)支撐。本研究提出融合增強(qiáng)型ICP與SIL的表面匹配方法，輔以多 -
發(fā)布了文章 2025-09-19 18:03
