完善資料讓更多小伙伴認識你，還能領取20積分哦，立即完善>
標簽 > 刻蝕
刻蝕，英文為Etch，它是半導體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟。是與光刻 ［1］ 相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理的一種主要工藝。所謂刻蝕，實際上狹義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理，然后通過其它方式實現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。
文章：210個 視頻：10個 瀏覽：13640次 帖子：0個
薄膜刻蝕與薄膜淀積是集成電路制造中功能相反的核心工藝：若將薄膜淀積視為 “加法工藝”（通過材料堆積形成薄膜），則薄膜刻蝕可稱為 “減法工藝”（通過材料去...
濕法刻蝕SC2工藝在半導體制造及相關領域中具有廣泛的應用，以下是其主要應用場景和優(yōu)勢：材料選擇性去除與表面平整化功能描述：通過精確控制化學溶液的組成，能...
濕法刻蝕通常是各向同性的（即沿所有方向均勻腐蝕），但在某些特定條件下也會表現(xiàn)出一定的各向異性。以下是其產(chǎn)生各向異性的主要原因及機制分析：晶體結構的原子級...
濕法刻蝕是半導體制造中的關鍵工藝，其效果受多種因素影響。以下是主要影響因素及詳細分析：1.化學試劑性質與濃度?種類選擇根據(jù)被刻蝕材料的化學活性匹配特定溶...
相較于傳統(tǒng)CMOS工藝，TSV需應對高深寬比結構帶來的技術挑戰(zhàn)，從激光或深層離子反應刻蝕形成盲孔開始，經(jīng)等離子體化學氣相沉積絕緣層、金屬黏附/阻擋/種子...
在MEMS制造工藝中，干法刻蝕是通過等離子體、離子束等氣態(tài)物質對薄膜材料或襯底進行刻蝕的工藝，其評價參數(shù)直接影響器件的結構精度和性能。那么干法刻蝕有哪些...
遠程等離子體刻蝕技術通過非接觸式能量傳遞實現(xiàn)材料加工，其中熱輔助離子束刻蝕（TAIBE）作為前沿技術，尤其適用于碳氟化合物（FC）材料（如聚四氟乙烯PT...
本文簡單介紹了連續(xù)波和脈沖波的概念、連續(xù)波電流與脈沖波電源的定義以及脈沖波電源相對于連續(xù)波的電源模式的優(yōu)勢。 相對于連續(xù)波的電源模式，脈沖模式的優(yōu)勢有哪...
半導體濕法刻蝕過程中殘留物的形成，其背后的機制涵蓋了化學反應、表面交互作用以及側壁防護等多個層面，下面是對這些機制的深入剖析： 化學反應層面 1 刻蝕劑...
引言 晶圓濕法刻蝕工藝通過化學溶液對材料進行各向同性或選擇性腐蝕，廣泛應用于硅襯底減薄、氧化層開窗、淺溝槽隔離等工藝，其刻蝕深度均勻性、表面平整度、側向...
中微公司重磅發(fā)布六大半導體設備新產(chǎn)品 覆蓋等離子體刻蝕（Etch）、原子層沉積（ALD）及外延（EPI）等關鍵
? 中國無錫，2025年9月4日 —— 在第十三屆半導體設備與核心部件及材料展（CSEAC 2025）上，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱 ...
11家半導體設備企業(yè)H1：刻蝕設備狂賣50億，最高凈利潤暴漲73%
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/莫婷婷）近期，多家上市半導體設備公司均已公布上半年的財報數(shù)據(jù)。電子發(fā)燒友網(wǎng)統(tǒng)計了北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、屹唐股份、華海清科、...
在MEMS中，玻璃因具有良好的絕緣性、透光性、化學穩(wěn)定性及可鍵合性（如與硅陽極鍵合），常被用作襯底、封裝結構或微流體通道基板。玻璃刻蝕是制備這些微結構的...
金屬低刻蝕的光刻膠剝離液及其應用及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體制造與微納加工領域，光刻膠剝離是重要工序。傳統(tǒng)剝離液常對金屬層產(chǎn)生過度刻蝕，影響器件性能。同時，光刻圖形的精確測量也是確保制造質量的關鍵。...
在刻蝕清洗機中，熱電阻可以用于溫度監(jiān)測和控制，但需根據(jù)具體應用場景和需求選擇合適類型，并注意其局限性。以下是詳細分析： 1. 熱電阻的適用性 溫度測量：...
芯片刻蝕是半導體制造中的關鍵步驟，用于將設計圖案從掩膜轉移到硅片或其他材料上，形成電路結構。其原理是通過化學或物理方法去除特定材料（如硅、金屬或介質層）...
ICP（Inductively Coupled Plasma，電感耦合等離子體）刻蝕技術是半導體制造中的一種關鍵干法刻蝕工藝，廣泛應用于先進集成電路、M...
半導體BOE（Buffered Oxide Etchant，緩沖氧化物蝕刻液）刻蝕技術是半導體制造中用于去除晶圓表面氧化層的關鍵工藝，尤其在微結構加工、...
刻蝕工藝的核心機理與重要性 刻蝕工藝是半導體圖案化過程中的關鍵環(huán)節(jié)，與光刻機和薄膜沉積設備并稱為半導體制造的三大核心設備?？涛g的主要作用是將光刻膠上的圖...
換一批
編輯推薦廠商產(chǎn)品技術軟件/工具OS/語言教程專題
| 電機控制 | DSP | 氮化鎵 | 功率放大器 | ChatGPT | 自動駕駛 | TI | 瑞薩電子 |
| BLDC | PLC | 碳化硅 | 二極管 | OpenAI | 元宇宙 | 安森美 | ADI |
| 無刷電機 | FOC | IGBT | 逆變器 | 文心一言 | 5G | 英飛凌 | 羅姆 |
| 直流電機 | PID | MOSFET | 傳感器 | 人工智能 | 物聯(lián)網(wǎng) | NXP | 賽靈思 |
| 步進電機 | SPWM | 充電樁 | IPM | 機器視覺 | 無人機 | 三菱電機 | ST |
| 伺服電機 | SVPWM | 光伏發(fā)電 | UPS | AR | 智能電網(wǎng) | 國民技術 | Microchip |
| Arduino | BeagleBone | 樹莓派 | STM32 | MSP430 | EFM32 | ARM mbed | EDA |
| 示波器 | LPC | imx8 | PSoC | Altium Designer | Allegro | Mentor | Pads |
| OrCAD | Cadence | AutoCAD | 華秋DFM | Keil | MATLAB | MPLAB | Quartus |
| C++ | Java | Python | JavaScript | node.js | RISC-V | verilog | Tensorflow |
| Android | iOS | linux | RTOS | FreeRTOS | LiteOS | RT-THread | uCOS |
| DuerOS | Brillo | Windows11 | HarmonyOS |
關注我們的微信
下載發(fā)燒友APP
電子發(fā)燒友觀察
版權所有 ? 湖南華秋數(shù)字科技有限公司
長沙市望城經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)航空路6號手機智能終端產(chǎn)業(yè)園2號廠房3層（0731-88081133）
電子發(fā)燒友 （電路圖） 湘公網(wǎng)安備43011202000918
工商網(wǎng)監(jiān)
湘ICP備2023018690號-1
