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標(biāo)簽 > 拋光
拋光是指利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。是利用拋光工具和磨料顆?;蚱渌麙伖饨橘|(zhì)對工件表面進(jìn)行的修飾加工。
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今天的光電子信息產(chǎn)業(yè)水平,對作為光電子基片材料的藍(lán)寶石、單晶硅等材料的平行度要求越來越精密,已經(jīng)達(dá)到了納米級。這就意味著,拋光工藝也已隨之進(jìn)入納米級的超...
由于陶瓷基片硬度高、脆性大、易產(chǎn)生裂紋,表面加工難度大,且加工后很難保證表面和亞表面的質(zhì)量與完整性。陶瓷的表面加工不僅要求有高的尺寸精度和形狀精度,表面...
激光器都是在外延的基礎(chǔ)上做出芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外延厚度2寸的在350um,4寸的在460um左右,到芯片后期,都需要對晶圓進(jìn)行減薄,厚度有做到80um的,...
關(guān)于晶體硅太陽能電池單面濕法化學(xué)拋光的方法
引言 高效太陽能電池需要對硅片的正面和背面進(jìn)行單獨(dú)處理。在現(xiàn)有技術(shù)中,電池的兩面都被紋理化,導(dǎo)致表面相當(dāng)粗糙,這對背面是不利的。因此,在紋理化后直接引入...
關(guān)于薄膜金剛石的化學(xué)機(jī)械拋光的研究報(bào)告
摘要 納米晶金剛石(NCD)可以保留單晶金剛石的優(yōu)越楊晶模量(1100GPa),以及在低溫下生長的能力(450C),這推動(dòng)了NCD薄膜生長和應(yīng)用的復(fù)興。...
我們經(jīng)常把研磨和拋光放在一起講,因?yàn)榱慵?jīng)過這兩個(gè)工序的粗糙度已經(jīng)十分小了。首先咱們了解一下它們的區(qū)別。
引言 原子平面的制備是半導(dǎo)體基板上原子尺度操作的必要前提。由于自組裝現(xiàn)象或使用原子探針技術(shù)操縱單個(gè)原子,只有原子平面的表面才能產(chǎn)生可重復(fù)制造納米級原子結(jié)...
晶圓,作為芯片制造的基礎(chǔ)載體,其表面平整度對于后續(xù)芯片制造工藝的成功與否起著決定性作用。
藍(lán)寶石在化學(xué)機(jī)械拋光過程中的材料去除機(jī)理
在化學(xué)腐蝕點(diǎn)處的濃度越高,腐蝕速率越快。在拋光過程中拋光液持續(xù)流動(dòng),我們假設(shè)在腐蝕點(diǎn)處的濃度可以保持初始時(shí)的濃度,腐蝕率以最快的速度發(fā)生,則拋光液不同的...
? 本文介紹光纖頭的各種加工方法 1. 拋光 當(dāng)使用光纖時(shí),有必要對其端面進(jìn)行光學(xué)拋光,以便光能夠有效地進(jìn)出端面。當(dāng)反射光和返回光的影響出現(xiàn)問題時(shí),拋光...
化學(xué)機(jī)械拋光液是化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝中關(guān)鍵的功能性耗材,其本質(zhì)是一個(gè)多組分的液體復(fù)合體系,在拋光過程中同時(shí)起到化學(xué)反應(yīng)與機(jī)械研磨的雙重作用,目的是...
氬離子拋光技術(shù)作為一種先進(jìn)的材料表面處理方法,該技術(shù)的核心原理是利用氬離子束對樣品表面進(jìn)行精細(xì)拋光,通過精確控制離子束的能量、角度和作用時(shí)間,實(shí)現(xiàn)對樣品...
《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》III-V族化學(xué)-機(jī)械拋光工藝開發(fā)
書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》 文章:III-V族化學(xué)-機(jī)械拋光工藝開發(fā) 編號:JFKJ-21-214 作者:炬豐科技 摘要 ? III-V材料與絕緣子...
2023-04-18 標(biāo)簽:拋光半導(dǎo)體工藝 554 0
氬離子拋光技術(shù)氬離子拋光技術(shù)憑借其獨(dú)特的原理和顯著的優(yōu)勢,在精密樣品制備領(lǐng)域占據(jù)著重要地位。該技術(shù)以氬氣為介質(zhì),在真空環(huán)境下,通過電離氬氣產(chǎn)生氬離子束,...
碳化硅 TTV 厚度在 CMP 工藝中的反饋控制機(jī)制研究
一、引言 化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝是實(shí)現(xiàn)碳化硅(SiC)襯底全局平坦化的關(guān)鍵技術(shù),對提升襯底質(zhì)量、保障后續(xù)器件性能至關(guān)重要??偤穸绕睿═TV)作為衡...
樣品切割和拋光配溫控液氮冷卻臺,去除熱效應(yīng)對樣品的損傷,有助于避免拋光過程中產(chǎn)生的熱量而導(dǎo)致的樣品融化或者結(jié)構(gòu)變化,氬離子切割制樣原理氬離子切割制樣是利...
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