隨著集成電路工藝進入納米尺度，復雜工藝的采用使得工藝偏差日益嚴重。工藝偏差是指在集成電路制造過程中，電路幾何和電學參數(shù)的隨機波動。例如，采用193nm波長光源的亞波長光刻造成硅片圖形偏差，化學機械拋光導致銅互連線高度嚴重偏差，摻雜的隨機波動導致器件參數(shù)的偏差等。工藝偏差使得集成電路設計性能與制造后的性能具有較大差異并呈現(xiàn)隨機分布。工藝缺陷如塵埃導致的斷路和短路也會使電路出現(xiàn)功能失效。

成品率設計主要是通過早期的設計手段來降低工藝缺陷和工藝偏差對電路性能的影響，提高電路制造后的成品率。相比來說，可制造性設計則更偏向于通過設計手段，解決芯片制造中可能存在的化學機械拋光平整性、亞波光光刻等制造苦難。

成品率設計首先需要建立工藝參數(shù)的隨機模型以及支持隨機參數(shù)的器件模型。在此基礎上，通過電路仿真可以支持電路的成品率分析和優(yōu)化；通過建立單元電路的隨機延時模型，支持數(shù)字電路的成品率分析和優(yōu)化。

模擬電路對工藝偏差更為敏感，因此設計者很早就已經(jīng)考慮尺度失配對電路性能的影響；而在成品率設計中，還需要進一步考慮工藝參數(shù)偏差對設計的影響。模擬電路設計者一般通過增加裕量、中心化設計等方法來提高電路成品率。近年也有直接以成品率為優(yōu)化目標的模擬電路自動成品率優(yōu)化方法的相關研究。Cadence公司的Virtuoso設計環(huán)境提供了多工藝角優(yōu)化、成品率優(yōu)化等工具。

數(shù)字電路的成品率設計分為眾工藝角優(yōu)化方法和統(tǒng)計優(yōu)化方法兩類。眾工藝角設計是傳統(tǒng)數(shù)字電路抗工藝偏差設計的延伸，通過引入更多工藝角，經(jīng)過優(yōu)化來保證電路在眾多工藝角下都能滿足性能要求，提升電路的成品率。Synopsys公司的IC Compiler、Cadence公司的Innovus均提供了眾工藝角優(yōu)化功能?；诮y(tǒng)計的優(yōu)化方法目前發(fā)展得尚不成熟。IBM公司最早開發(fā)了統(tǒng)計時序分析的工具，并基于該工具來進行電路成品率優(yōu)化。但基于統(tǒng)計的成品率分析和優(yōu)化方法還沒有被大規(guī)模使用。Synopsys公司和Cadence公司最近也發(fā)布了統(tǒng)計時序分析工具，基于統(tǒng)計的分析及成品率優(yōu)化方法也許會成為未來的發(fā)展趨勢。

成品率增長技術（Yield Enhancement）包含的內涵越來越豐富。傳統(tǒng)上是指在不犧牲面積的前提下，通過冗余通孔插入、互連展寬等技術來減少由于塵埃缺陷引起的短路、斷路以及通孔缺陷引起的斷路失效。成品率增長技術現(xiàn)在涵蓋了更多的內容，如光學鄰近效應校正（Optical Proximity Correction,OPC）、針對化學機械拋光的啞元金屬插入、光刻熱點檢測及修正等可制造性設計方法，以及前面提到的各種成品率優(yōu)化方法等。

為了應對工藝偏差引起的成品率的嚴重下降，近年來還提出了一些可調或自修復的電路設計方法。這些方法在電路設計階段引入一些可調單元來調整電路的偏置、驅動能力和負載等；在電路制造后，根據(jù)電路的實際偏差，通過人工測試或自動測量電路性能，對可調單元進行手工或自動調整，以提高電路性能和成品率。這種設計方法由于可以在制造后調整，可以降低為應對工藝偏差引入的不必要的面積和功耗開銷。

成品率設計是集成電路進入納米尺度后必須采用的設計方法，只有在設計階段考慮工藝偏差的影響，才能有效地提高集成電路的成品率。隨著工藝尺寸的進一步縮小，成品率設計方法將變得更加重要。

審核編輯：劉清